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DL-78型单晶炉的热场和减压工艺\1前言集成电路生产的发展一方面不断缩小元件尺寸，以提高集成度；另一方面不断扩大硅片直径以减少芯片的离故度和降低成本。相应地，作为集成电路基础材料的硅单晶生产也在不断地提高其技术质量指标和增大单晶锭的直径和长度，以满足电路的要求和降低自身的生产成本。在国外市场上，硅晶体直径大致每4～5年增长1时（25．4mm），相应地，生产投料重也由1公斤逐渐发展为3～5公斤、8～12公斤、15～刘公斤和朋～6O公厅等几个等级。在这发展中，有两个条件是相辅相成、共同进步的，这是单晶炉和拉晶工艺。蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，周期式电阻炉的分类A． 箱式炉 B． 台车炉（分为自行式和牵引式），用作退火之用，加热后工件随炉冷却 C． 井式炉 D． 罩式炉（主要用于退火，加热罩可吊移） E． 底升式罩式炉（罩子固定，升降底座，适用于大型炉子）F． 转筒式炉 G． 密封箱式炉（又称为多用炉，可进行渗碳、光洁淬火、碳氮共渗等热处理工艺。
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电控系统采用微机控制，功能全、精度高、稳定性好。且具有以下特点：温度自动控制系统\电机调速控制系统\单晶直径自动控制系统\单晶熔体自动跟踪系统\单晶重量及长度显示功能\各拉晶有关参数包括籽晶轴，坩埚轴的转动速度，晶升和埚升速度，炉内压力，冷却部位温度等数据都采用数字显示仪表指示，两笔记录仪记录温度和籽晶拉速，能稳定的控制生长直径5～8英寸，直径均匀的无错位单晶。采用软籽晶轴，具有特的晶体提升机构。的磁流体密封技术，新型翻板阀结构，拱形封头式炉盖结构，考虑热变形采用浮动提升结构，防止卡死现象。单晶提拉采用可承受150Kg不锈钢丝软轴，电控系统采用微机控制，红外测径技术，进口电动及驱动器，保生长大扭矩高稳定性。
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