臭氧杀菌原理以氧化作用破坏微生物膜的结构实现杀菌作用。臭氧作用于细胞膜，使膜构成成份受损伤而导致新陈代谢障碍，臭氧继续渗透穿透膜而破坏膜内脂蛋白和脂多糖，改变细胞的通透性，导致细胞溶解、死亡。而臭氧灭活病毒则认为氧化作用直接破坏其核糖核酸RNA或脱氧核糖核酸DNA物质而完成的。
空气应用浓度
◎作为空气除味与杀菌，要求臭氧浓度较低，如0.5ppm（1mg/m3），而物品表面消毒（杀灭微生物和去除化学污染）则要求提高几十倍的臭氧浓度。
◎空气应用具氧浓度在1mg/m3～10mg/m3之间。
◎温度低，湿度大则杀灭效果好，尤其是湿度，相对湿度小于45%，臭氧对空气中悬浮微生物几乎没有杀灭作用。在60%时才逐渐增强，在95%时达到大值。
◎用臭氧消毒食品加工车间，0.5～1.0ppm即可杀灭空气中的80%的自然菌。
◎冷库消毒要求臭氧浓度6～10ppm，停机后封库24小时以上细菌杀灭率90%左右，霉菌杀灭率80%左右。
水中应用浓度
◎水应用中臭氧溶解度在0.1mg/L～10mg/L之间。低值作为水消毒净化要求的低浓度，高值作为“臭氧水消毒剂” 可达到的浓度值。
◎自来水臭氧睁化，国际常规标准为0.4mg/L的溶解度值，保持4分钟，即CT值为1.6。
◎水中余臭氧浓度保持在0.1～0.5mg/L作用5～10min可达消毒目的。
◎臭氧水消毒灭菌是的，消毒作用在瞬间发生。清水中臭氧浓度一旦达到，在0.5～1分钟内就杀死细菌，在浓度达4mg/L，在1分钟内乙肝病毒灭活率为。
◎Herbold报道：20℃条件下，水中臭氧浓度达0.43mg/L时，可将大肠杆菌杀灭，10℃时仅需0.36mg/L即可全部杀灭。
◎臭氧浓度为0.25～38mg/L时，仅需几秒或几分钟完全灭活甲型肝炎病毒（HAV）。
◎矿泉水中臭氧溶解度在0.4～0.5mg/L时，即可满足杀菌保质要求。合理的臭氧投放量为1.5～2.0mg/L。
◎瓶装水处理应达0.3～0.5mg/L的臭氧溶解度值，要求投加臭氧应满足 1m3水2gO3的发生量。根据实践经验，臭氧发生浓度8mg/L时容易达到浓度。
从世界的臭氧技术产业来看，以水处理的杀菌净化为主要市场，而水净化臭氧装置包括臭氧源与气水混合装置两部分。臭氧发生器应提供足够浓度与产量的臭氧，混合装置以率使臭氧溶解在水中，即达到一定的臭氧溶解度。因此，一台好的臭氧发生器要有优良的气水混合装置，使臭氧能地和水混合，使水中的臭氧溶解度能满足完全杀菌。
故障排查
1、机器不通电：电源插头是否插好，插座是否有220V交流电；
2、臭氧输出口无气量输出：机器内部线路接头是否脱落、管路是否打折。检查气泵开关是否打开，氧气输入口是否有气量输入。
3、无臭氧(有空气)：臭氧指示灯不亮，定时器是否打开。如定时器已打开，还是没臭氧，发生器损坏。
高浓度臭氧机/臭氧发生器的产品优点
1、环保卫生
臭氧杀菌消毒之后，会很快自行分解为氧气，没有残留，没有二次污染，是一种环保型杀菌消毒剂。
2、操作方便
高浓度臭氧消毒机可根据杀菌所需臭氧的浓度及时间，自动设置臭氧杀菌设备的杀菌时间，操作方便。而使用环氧乙酸、醋酸、甲醛杀菌消毒，所需的时间较长。
3、经济实惠
很多人认为，在食品、药品、化妆品等产品生产过程中，使用臭氧发生器杀菌消毒，要耗费较高的成本。其实，这种看法是错误的。臭氧消毒机使用简单，插电即可使用，不需要复杂的操作，不需要人员来使用，这可节约用人方面的工资。
同时，使用臭氧发生器的能耗相对较小。从这几方面来看，使用臭氧杀菌消毒，是一种经济实惠的杀菌方法，有利于控制生产成本。
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