尘室设计时，要注意尽量避免可能发生的污染。设备日常运作、保养、生产过程，人员活动及其他要素是无尘室内污染并扩散的原因。因此，希望在不影响产品和生产进度的前提下，对污染进行充分的清洁。清洁程序按照不影响生产要求的洁净度前提下，制定整体的清洁方案。清洁好避开生产作业时。如果无法避开，要把影响降到低并对制定特定的清洁程序。
更衣室和风淋室的接触面
更衣室和风淋室是人流量大的地方，所以容易受到污染。要将污染限度降到低，以免污染到无尘室内环境，就需要对这些区域进行频繁的清扫。
基本的清扫
一般保持无尘室的清洁度，需要一系列的作业流程。制定清扫标准及符合标准的基本清扫方法。
基本清扫的分类清扫
从清扫前的状态到清扫完毕后达到期望的洁净度，可以分为三类：“粗清扫”、“普通清扫”和“精密清扫”。
a)“粗清扫”---去除直径在50μ以上的大颗粒。这种类型的颗粒一般在地面，更衣室，风淋室常见。生产作业过程中发生的，磨耗坏损、溢出的异物是污染接触面及地面的原因之一。建筑物发尘和设备维修也是多产生大颗粒异物的原因。
b)“普通清扫”---去除直径在10μ~50μ较小颗粒的异物。适用一般无尘室接触面。通常，墙壁和作业台包括在普通清洁范围之内。在粗清扫之后，还会有很多异物残留，普通清扫可以达到更高的洁净度标准。
c)“精密清扫”---去除10μ以下的残留异物。精密清扫是在产品制造场所和保管场所以及附近的接触面进行。
桌子、其他重要的水平接触面
桌子、其他重要的水平接触面按照以上介绍的清扫方法选择合适的方式进行。使用药液从区域向一般区域方向擦拭，除去脏污。
椅子、家具
擦拭按从上到下的顺序进行。垫子、支架及车轮也在清扫的范围之内。
根据无尘室的用途，在需要的场合采用表面处理溶剂，这种处理剂，对无尘室内的产品有一定的保护作用，清洁完成后就不要再使用处理溶剂了。溶剂效果会随着时间的变化而减弱，降低无尘室的清洁度。使用这种处理剂，不能持续管理的话，就会有设备、产品污染的风险。所以使用时，要定期的对无尘室进行检查实验，确保无尘室不被污染。如果处理剂效果变弱，洁净度降低，需要马上采取改善对策。
日常清扫无法涉及的表面，需要进行定期清扫。清扫中注意不要污染产品。大多数表面按周清扫，清扫时，产品要有覆盖保护并移出清扫区域。 洁净度没什么要求的表面，可以按月或是更长间隔时间清扫。虽然长时间才清扫一次，但是清扫流程安排表中也要有记录。无尘室内从上到下全体设施要有完全清扫的清扫流程安排表。完全清扫包含保管区域、服务区域、配管区及备用品类。完全清扫多在停止生产时，周末，假日或者其他没有生产的情况下进行。在连续生产有少有假期时，完全清扫是很困难的事情，因此，要在有限的假期内集中清扫。
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