Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,
同时程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
Edwards爱德华EM 系列:E1M5, E1M8, E1M12, E1M18, E1M30, E1M40, E1M80, E1M175, E1M275, E2M0.7, E2M1.5,
E2M18,E2M28, E2M40, E2M80, E2M175, E2M275
Edwards旋片式真空泵:Edwards爱德华RV系列:RV3, RV5, RV8, RV12
Edwards罗茨泵 : Ewards爱德华EH 系列:Edwards爱德华EH 系列:EH250, EH500, EH1200, EH2600, EH4200
Edwards干式真空泵:Edwards爱德华GV干式真空泵系列:GV80,GV160, GV250, GV400 Edwards
爱德华真空泵维修--真空泵选型,
应该充分了解被抽气体成分。如气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性、爆炸性等;如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等;如抽取气体还有腐蚀性,则须选用材质;若抽取的气体具有爆炸性,则应该选择水环式真空泵并且配防爆电机,因为水环式真空泵整个工作过程是等温的。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何,如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵如水环式真空泵,或者把油蒸气排到室外。
真空设备或者零部件对油污染的要求,若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环式真空泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等,若要求不严格,可以选择有油泵,并且加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
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