尘室设计时，要注意尽量避免可能发生的污染。设备日常运作、保养、生产过程，人员活动及其他要素是无尘室内污染并扩散的原因。因此，希望在不影响产品和生产进度的前提下，对污染进行充分的清洁。清洁程序按照不影响生产要求的洁净度前提下，制定整体的清洁方案。清洁好避开生产作业时。如果无法避开，要把影响降到低并对制定特定的清洁程序。
无尘室内，区域及接触面的洁净度希望能够按照对产品及生产过程的影响程度进行分类，制定相关的分类标准和对应的清洁标准，并按照不同类别有针对性的进行清洁。
一般无尘室接触面
在无尘室内，除去生产地点，单一方向气流的局部管控之外的接触面为一般无尘室接触面。为了防止一般接触面的异物移动污染到接触面，需要对一般接触面进行定期的清扫。
基本的清扫
一般保持无尘室的清洁度，需要一系列的作业流程。制定清扫标准及符合标准的基本清扫方法。
基本清扫的分类清扫
从清扫前的状态到清扫完毕后达到期望的洁净度，可以分为三类：“粗清扫”、“普通清扫”和“精密清扫”。
a)“粗清扫”---去除直径在50μ以上的大颗粒。这种类型的颗粒一般在地面，更衣室，风淋室常见。生产作业过程中发生的，磨耗坏损、溢出的异物是污染接触面及地面的原因之一。建筑物发尘和设备维修也是多产生大颗粒异物的原因。
b)“普通清扫”---去除直径在10μ~50μ较小颗粒的异物。适用一般无尘室接触面。通常，墙壁和作业台包括在普通清洁范围之内。在粗清扫之后，还会有很多异物残留，普通清扫可以达到更高的洁净度标准。
c)“精密清扫”---去除10μ以下的残留异物。精密清扫是在产品制造场所和保管场所以及附近的接触面进行。
湿式清扫
与液体接触的表面，需要采用擦拭+真空清洁的湿式清扫方式。湿式清扫是广泛被应用的清扫方式，以下是具体的介绍：
a)“擦洗清扫”是为了去除脏污和重度污染，采用机械或手动进行的一种粗清扫方法。注意防止擦洗所使用的机器或用具自身的发尘污染。擦洗之后，用干拖把或是真空吸湿器将多余的水除去。
b)“拖把清扫”是粗清扫、普通清扫中去除脏污很有效的一种方法。拖把清扫是在真空除尘之后，去除残余液体的清扫方法。擦洗适用于局部区域，而拖把则适用于地面或是大面积区域。拖地水好是经过过滤的离子水或蒸馏水，并频繁更换干净的拖地水。区域更换拖地水的频率要更高。对于“粗清扫”来说，拖地水以变色为更换标准，清洗干净水桶之后再接满水。“普通清扫”和“精密清扫”的标准是在水未变色之前就要换水。因此好有两个以上的水桶以免频繁的换取水。必要时配合使用非离子合成洗剂或是接口活性剂清洁。为了避免拖地后剩水太多，尽量将拖把拧干。拧干之后拖地虽然还是会有水残留，但是会干很快。为地面都被拖到，请重复拖拭。重复拖地时，将拖把换面，防止脏污面将拖干净的地面再度污染。注意也不要频繁的重复拖拭，避免再度污染。墙角的地方需要使用特殊的拖把清扫。
日常清扫是为了防止异物污染到重要区域，按照合适的频率实行的所有相关的作业。无尘室清扫根据洁净程度评估，按照一日数次，一日一次或是数日一次的频率进行。更衣室、搬入区、大厅等的公共区域去除废弃物采取的真空除尘器，地面水拖拭，其他表面擦拭等是可以在生产作业时间内进行的。无尘室各个房间，按照产品和制造工程的重要度，对清扫流程进行的规定并文件化。更衣室和活动区域至少要一天一次清扫，因为这些区域都是人员活动密集区，异物聚集程度很高。因此，为了确保洁净度，防止异物转移污染，这些区域要比无尘室内一般区域清扫频度高，像无尘室区域一样频繁的清扫。
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