EDS可以提供元素的定性分析和定量分析，能够准确地检测材料表面的元素种类和含量。通过分析元素分布情况，可以识别化学腐蚀、应力腐蚀开裂等化学或物理作用导致的失效，进一步确定失效机制。
SEM+EDS可以用于分析水体中的悬浮物、污染物等物质的微观结构和化学成分，研究其来源、扩散和生物毒性等。例如，对于水体中的重金属离子，可以通过SEM观察其形貌和分布情况，通过EDS分析其元素种类和含量，探究其对水生生物和人类健康的潜在影响。
失效分析：在航空航天领域，失效分析是非常重要的工作。SEM+EDS可以用于失效模式的识别和分析。例如，对于飞机涂层的剥落和掉漆问题，SEM可以观察到涂层表面的形貌和结构，而EDS可以分析涂层中的元素组成。这有助于确定涂层失效的原因和解决方案。
SEM和EDS可以用于表征生物材料，如生物陶瓷、生物复合材料等。通过观察材料的表面形貌和结构，以及分析材料中的元素组成，可以了解材料的生物相容性和生物活性。
SEM可以用于观察土壤、水体等环境中的微生物形态和结构，如细菌、真菌、病毒等。EDS可以用于分析微生物的元素组成，有助于了解微生物的生态学特性和环境适应性。
SEM可以用于观察化石和古生物标本的表面形貌和内部结构，如恐龙、猛犸象等。EDS可以用于分析古生物标本中的元素组成，有助于了解古生物的食性、生活环境和演化历程。
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