电容式接近开关的检测原理是基于电容的变化来进行的，当传感器与目标物体靠近或者是接触时，传感器的电容发生变化，电流发生变化，从这个过程中检测出目标物体的属性或者是状态，达到检测的目的。
电容式接近开关由三大部分组成：振荡器、开关电路及放大输出电路。振荡器产生一个交变磁场。当金属目标接近这一磁场，并达到感应距离时，在金属目标内产生涡流，从而导致振荡衰减，以至停振。振荡器振荡及停振的变化被后级放大电路处理并转换成开关信号，触发驱动控制器件，从而达到非接触式之检测目的。
电容式接近开关工作原理：随着目标物体接近，探头与物体之间的耦合电容增加，使得电路总电容发生变化，进而影响到振荡器频率，通过检测频率的变化来识别物体的接近。
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