湿式清扫
与液体接触的表面，需要采用擦拭+真空清洁的湿式清扫方式。湿式清扫是广泛被应用的清扫方式，以下是具体的介绍：
a)“擦洗清扫”是为了去除脏污和重度污染，采用机械或手动进行的一种粗清扫方法。注意防止擦洗所使用的机器或用具自身的发尘污染。擦洗之后，用干拖把或是真空吸湿器将多余的水除去。
b)“拖把清扫”是粗清扫、普通清扫中去除脏污很有效的一种方法。拖把清扫是在真空除尘之后，去除残余液体的清扫方法。擦洗适用于局部区域，而拖把则适用于地面或是大面积区域。拖地水好是经过过滤的离子水或蒸馏水，并频繁更换干净的拖地水。区域更换拖地水的频率要更高。对于“粗清扫”来说，拖地水以变色为更换标准，清洗干净水桶之后再接满水。“普通清扫”和“精密清扫”的标准是在水未变色之前就要换水。因此好有两个以上的水桶以免频繁的换取水。必要时配合使用非离子合成洗剂或是接口活性剂清洁。为了避免拖地后剩水太多，尽量将拖把拧干。拧干之后拖地虽然还是会有水残留，但是会干很快。为地面都被拖到，请重复拖拭。重复拖地时，将拖把换面，防止脏污面将拖干净的地面再度污染。注意也不要频繁的重复拖拭，避免再度污染。墙角的地方需要使用特殊的拖把清扫。
天花板、出风口、照明器具
靠近送风口附近的天花板和其他固定器具，在生产作业时不要清扫。送风口和天花板网格线要深入清洁。送风口的滤网可取下清洗或是更换。更换照明灯管前要先擦拭干净。
根据无尘室的用途，在需要的场合采用表面处理溶剂，这种处理剂，对无尘室内的产品有一定的保护作用，清洁完成后就不要再使用处理溶剂了。溶剂效果会随着时间的变化而减弱，降低无尘室的清洁度。使用这种处理剂，不能持续管理的话，就会有设备、产品污染的风险。所以使用时，要定期的对无尘室进行检查实验，确保无尘室不被污染。如果处理剂效果变弱，洁净度降低，需要马上采取改善对策。
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