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GB/T 16944 2009《电子工业用气体氮》是中国国家标准,主要规范了电子工业中使用的液态和气态氮的质量要求。以下是一些关键的检验检测要求:
纯度 : 氮纯度范围从10^ 2至10^ 6级别,具体要求如下: 10^ 2级纯度:氮含量为99.9999%。 99.9999级纯度:氮含量为99.99999%。 更别的纯度则进一步提高氮的含量,并限制其他杂质的含量。
2. 氧含量 : 氧含量控制在10^ 6级别, 高限值为350ppb(每百万分比浓度)。
3. 氢含量 : 氢含量控制在10^ 6级别, 高限值为0.5ppb。
4. 氩含量 : 氩含量控制在10^ 6级别, 高限值为210ppb。
5. 水分含量 : 水分含量也是检验检测的重要指标之一,通常会设定 大允许的水分含量。
6. 杂质元素 : 对于某些特定应用,可能还需要检测杂质元素的含量,如碳、硫、 、氯、氟等,以确保它们在允许的范围内。
7. 检测方法 : 标准中通常会推荐或 特定的检测方法,比如色谱法、质谱法等,用于测量上述各项参数。
8. 包装与储存 : 对于气态氮,可能需要考虑压力容器的安全性、密封性和运输条件;对于液态氮,则需关注低温保存和传输过程中的安全措施。
9. 标签与标识 : 检测合格的氮气产品通常需要有明确的标签,注明产品名称、纯度等级、生产日期、有效期、生产厂家信息等。 这些要求旨在确保电子工业中使用的氮气符合特定的性能指标,以满足电子元器件生产、封装、清洗等过程中的需求。实际的检验检测流程可能会根据具体的应用场景和标准的具体条款进行调整。
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