产品特点:
立自主知识产权的直线型单臂机械手,具有高可靠性、高稳定性。
设备配有FFU,采用全封闭结构,可发挥超洁净性能,其洁净度达Class1。
可实现对晶圆缺口的检测并依据缺口位置对晶圆进行定位。
配备CCD传感器及图像处理软件,可对晶圆ID刻号进行识别与读取;
可依据客户需求,非标定制。
晶圆在加工过程中,需要对其进行划片处理,目前现有的晶圆划片设备村子按以下不足:1、晶圆初的放置随意性较大,影响后续晶圆的对正工作;2、每次只能对晶圆的一个表面进行划片处理,导致正反面划片的深度难以控制,增加了后期打磨的工作。
在过去三十年期间,切片(dicing)系统与刀片(blade)已经不断地改进以对付工艺的挑战和接纳不同类型基板的要求。新的、对生产率造成大影响的设备进展包括:采用两个切割(two cuts)同时进行的、将超程(overtravel)减到小的双轴(dual-spindle)切片系统。
在芯片的分割期间,刀片碾碎基础材料(晶圆),同时去掉所产生的碎片。材料的去掉沿着晶方(dice)的有源区域之间的切割线(迹道)发生的。冷却剂(通常是去离子水)指到切割缝内,改善切割品质,和通过帮助去掉碎片而延长刀片寿命。每条迹道(street)的宽度(切口)与刀片的厚度成比例。
硅圆片切割应用的目的是将产量和合格率大,同时资产拥有的成本小。可是,挑战是增加的产量经常减少合格率,反之亦然。晶圆基板进给到切割刀片的速度决定产出。随着进给速度增加,切割品质变得更加难以维持在可接受的工艺窗口内。进给速度也影响刀片寿命。
在切片或任何其它磨削过程中,在不超出可接受的切削质量参数时,新一代的切片系统可以自动监测施加在刀片上的负载,或扭矩。对于每一套工艺参数,都有一个切片质量下降和BSC出现的极限扭矩值。切削质量与刀片基板相互作用力的相互关系,和其变量的测量使得可以决定工艺偏差和损伤的形成。工艺参数可以实时调整,使得不超过扭矩极限和获得大的进给速度。
苏州销售晶圆理片器晶圆自动寻角器
面议
产品名:晶圆理片器,半导体理片器,晶圆寻边器,晶圆对准器,硅片对边器,晶圆缺角器,槽口对准器,晶圆找平
苏州晶圆理片器硅片自动找平
面议
产品名:晶圆理片器,半导体理片器,晶圆寻边器,晶圆对准器,硅片对边器,晶圆缺角器,槽口对准器,晶圆找平
唐山销售晶圆导片器半导体自动推片器
面议
产品名:晶圆导片器,半导体倒片器,半导体导片器,晶圆转换器,晶圆倒片器,晶圆推片器,晶圆倒篮器,硅片倒片器,硅片导片机
定制PVDF酸桶接头PVDF化学品接头PVDF分配头PVDF抽液接头PE接头
1元
产品名:PVDF酸桶接头,PVDF化学品接头,PVDF抽液分配头,AS接头密码锁接头
重庆PTFE方槽生产供应商
面议
产品名:PTFE材料加工,PTFE溢流槽,PTFE废液槽,PTFE酸槽,特氟龙槽
广西PTEE搅拌罐定制价格
面议
产品名:PTFE材料加工,PTFE溢流槽,PTFE废液槽,PTFE酸槽,特氟龙槽
湖南PTEE烧杯生产供应商
面议
产品名:PTFE材料加工,PTFE溢流槽,PTFE废液槽,PTFE酸槽,特氟龙槽
北京PTFE方槽定制供应商
面议
产品名:PTFE材料加工,PTFE溢流槽,PTFE废液槽,PTFE酸槽,特氟龙槽