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单晶硅生长炉的特点HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动，便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计，提高稳定性。支撑柱安装在炉体支撑平台的上面，便于平台下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术，简便干净。全自动控制系统采用模块化设计，维护方便，可靠性高，抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热功率控制方式可选，保控温精度。质量流量计控制流量。真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。
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液压传动装置能准确的完成主炉室和副炉室的开启，炉室、副炉室上升到位后对称旋出，保主机稳定可靠，并便于机动取出晶体，拆装热场系统和清理炉内各部。炉体部件采用316L不锈钢，法兰整体锻造，经过振动消除应力、缺陷检查和探伤检验及氦质朴检漏仪检漏。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，为了避免下驱动装置4受到外界震动的影响，进而保下驱动装置4的工作精度，所述底座1和下驱动装置4之间设置有减震装置，所述下驱动装置4的底端设置有承载板41，所述承载板41通过少两个螺钉16固定连接在底座1上，所诉减震装置包括与螺钉16分别一一对应的下减震橡胶垫171和上减震橡胶垫181，所述下减震橡胶垫171套装在螺钉16的下端部，所述下减震橡胶垫171的底部和底座1抵接，所述下减震橡胶垫171的顶部和承载板41抵接，以便于通过下橡胶减震171垫吸收从外界传来的震动，以避免下驱动装置4受到外界震动的影响，所述上减震橡胶垫172套装在螺钉16的上端部，且所述上减震橡胶垫172与承载板41的上端面压接，以避免螺钉16的震动影响到承载板41。
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