XRF的筛选X射线荧光光谱仪是公认的RoHS筛选检测仪器，由于其检测速度快、分辨率高、实施无损检测，所以被广泛采用。荧光光谱仪繁多，以至于分不出谁好谁差了。在《电子信息产品有毒有害物质的检测方法》IEC62321标准文本里提到：“用能量散射X射线荧光光谱法（ED－XRF）或波长散射X射线荧光光谱法（WD－XRF）对试样中目标物进行测试，可以是直接测量样品（不破坏样品），也可以是破坏样品使其达到”均匀材料”（机械破坏试样）后测试。”能真正准确无误地将试样筛选出合格、不合格、不确定三种类型，而且能限度地缩小“不确定”部分是好仪器。在既定准确度的情况下尽可能快速检测。尤其是企业选购，光谱仪是做日常RoHS监督检测用，非常看重这一点。所以，能够准确无误地将试样筛选出合格、不合格、不确定三种类型，又能限度地缩小“不确定”部分，而且全部过程是在短的时间内完成的X射线荧光光谱仪是满足使用要求的光谱仪
样品准备：样品通常需要根据仪器要求进行预处理，有些情况下还需要将其磨成粉末，甚至压制成薄片，以确保光束能够均匀照射。
X射线照射：通过仪器内的X射线管发射X射线，样品表面被照射后原子级别的激发。
荧光收集：样品内部被激发的原子会发出荧光，这些荧光信号通过检测器捕捉到。
信号分析：检测到的荧光信号被转化为电信号，并经过分析软件处理，终导出各元素的含量报告。
X荧光分析仪主要由X射线源、样品舱、检测器、数据处理系统等部分组成。每一个组件都有其特殊的功能：
- X射线源：产生高能X射线的部分，直接影响测量的灵敏度与准确度。
- 样品舱：用于容纳待分析样品，有时需要真空环境以减少空气对测量的干扰。
- 检测器：负责捕捉荧光信号，现代仪器多采用半导体探测器，例如硅漂移探测器（SDD），它具有高能量分辨率和快速响应的特点。
- 数据处理软件：对捕捉到的信号进行处理，分析后生成各元素的浓度数据。
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