扫描电镜测试是一种重要的无损检测方法,可以在不破坏样品的情况下获得其表面的详细信息。这种测试方法对于研究材料的性能和应用具有重要意义,可以为材料的研究、开发和生产提供重要的技术支持。
扫描电镜测试的分辨率较高,传统扫描电镜的分辨率可达3nm,而场发射扫描电镜的分辨率更高,可达1nm。
在SEM测试中,样品的成分、加速电压等因素都会影响相互作用区,从而影响扫描图像的空间分辨能力。
对于生物组织类样品,SEM测试的样品制备需要在高真空环境中进行固定、冷冻或脱水处理,并进行喷金处理以提高拍摄效果。
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