在洁净室中，过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。因此，过滤器安装或更换后，对过滤器的安装连接处进行检漏，以确保洁净室的洁净度符合要求。洁净度百级状态下悬浮粒子大准许数为≥0.5~tm3500个。准确检测过滤器的质量，以避免过滤器泄漏，影响生产。
泵的入口过滤器或吸滤器通常采用150微米（100目）的过滤器形式，该过滤器拧在油箱内部的泵吸油口上。由吸滤器引起的节流效果在低流体温度（高粘度）下增加，并且随着滤芯的堵塞而增加，从而增加了在泵入口处产生部分真空的机会。泵入口处的真空度过高可能会导致气蚀和机械损坏。
在斜轴泵设计中，活塞能够更好地承受真空引起的拉力。活塞的结构通常更坚固，活塞球通常通过螺栓固定的板固定在其轴槽中。但是，在高真空条件下，仍然可能发生活塞杆的拉伸失效和/或固定板的弯曲。
在叶片泵设计中，叶片在入口从其在转子中的缩回位置伸出。发生这种情况时，来自泵入口的流体会填充由延伸叶片产生的转子中的空隙。如果泵入口处存在过多真空，它将作用于叶片的底部。这会导致叶片在入口期间失去与凸轮环的接触，然后在出口期间加压流体作用在叶片的底部，从而将叶片锤回到凸轮环上。撞击会损坏叶片末端和凸轮环，从而迅速导致灾难性故障。
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