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因此，在向单晶炉内不断充入 的同时，还用真空泵将混合气体排出炉外；在排气时，混合气体流经 炉中的加热器、坩埚支持器等处，后经过炉下端的排气口排出。上述图1的单晶炉的不足之处在于单晶炉内空间较大，尤其是坩埚 支持器下方的空间较大，导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出， 热能消耗量较大；另外，现有技术中，从输入管向炉内充入时， 充气气压为1. 3x 103pa，流量为40L/min,因此其消耗量大，生产 成本较高。
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基本介绍编辑1、主机部分：机架，双立柱\双层水冷式结构炉体\水冷式阀座\晶体提升及旋转机构\坩埚提升及旋转机构\系统\真空系统及自动炉压检测控制\水冷系统及多种安全保障装置\留有二次加料口2、加热器电源：全水冷电源装置采用专利电源或原装进口IG及超快恢复二极管等功率器件。配以高频变压器，构成新一代高频开关电源。采用移相全桥软开关（ZVS）及CPU控制技术，提高了电能转换效率，不需要功率因数补偿装置。3、计算机控制系统：采用PLC和上位工业平板电脑PC机，配备大屏幕触摸式HMI人机界面、高像素CCD测径ADC系统和具有知识产权的“全自动CZ法晶体生长SCADA监控系统”，可实现从抽真空—检漏—炉压控制—熔料—稳定—溶接—引晶—放肩—转肩—等径—收尾—停炉全过程自动控制。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，所述加料器升降驱动装置包括升降丝杆91、拖板92和丝杆旋转驱动装置，底座1上设置有立柱10，所述升降丝杆91可旋转地支承在立柱10上，所述拖板92通过螺纹连接在升降丝杆91上，所述加料器旋臂8连接在拖板92上，所述升降丝杆91连接在丝杆旋转驱动装置上，以便通过丝杆旋转驱动装置驱动升降丝杆91旋转，进而将升降丝杆91的旋转运动转换为加料器旋臂8的升降运动。具体地，所述丝杆旋转驱动装置包括升降电机93和减速机94，所述减速机94连接在升降电机93的输出轴上，所述升降丝杆91连接在减速机94的输出轴上。
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