W1chotest光学3D表面轮廓仪

深圳W1chotest光学3D表面轮廓仪以白光干涉技术为原理，除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

应用领域
W1chotest光学3D表面轮廓仪可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
结果组成：

1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；

3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；

5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；

6、微电子表面分析和MEMS表征。

产品功能
(1)光学表面3D轮廓仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；

(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；

(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；

(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

性能特色
1、、高重复性

1）表面光学轮廓仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，测量精度高；

2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；

2、环境噪声检测功能

具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。

3、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，大限度的保护仪器，降低人为操作风险。

5、双通道气浮隔振系统

既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。

如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

主营产品: 闪测仪,一键式测量仪,图像尺寸测量仪,二次元

深圳市中图仪器股份有限公司成立于2005年，致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。 中图仪器坚持以技术创新为发展基础，拥有一支集光、机、电、信息技术于一体的技术团队，历经20年的技术积累和发展实践，研发出了基础计量仪器、常规尺寸光学测量仪器、微观尺寸光学测量仪器、大尺寸光学测量仪器、常规尺寸接触式测量仪器、微观尺寸接触式测量仪器、行业应用检测设备等全尺寸链精密仪器及设备，能为客户提供从纳米到百米的精密测量解决方案。 中图仪器的销售和服务网点遍及全国三十多个省、市、自治区，产品欧、美、东南亚等海外市场，坚持为客户提供的产品和服务。 中图仪器还将继续专注于精密测量检测技术的发展，自强不息、知难而上、勇于创新，为中国制造技术的快速发展贡献力量！

在晶圆制造前道过程的不同工艺阶段点，往往需要对wafer进行厚度（THK）、翘曲度（Warp）、膜厚、关键尺寸（CD）、套刻（Overlay）精度等量测，以及缺陷检测等；用于检测每一步工艺后wafer加工参数是否达到设计标准，以及缺陷阈值下限，从而进行工艺控制与良率管理。半导体前

• 

  Mars国产全自主三坐标测量机

  面议

  产品名：三坐标

• 

  CEM3000国产扫描电子显微镜

  面议

  产品名：台式扫描电镜

• 

  激光跟踪仪检测设备安装精度

  面议

  产品名：激光定位仪

• 

  国产钨灯丝电镜CEM3000

  面议

  产品名：电镜扫描仪器

• 

  中图CEM3000系列国产电镜

  面议

  产品名：电镜扫描仪器

• 

  CEM3000毫米级超大景深桌面扫描电镜

  面议

  产品名：国产扫描电镜

• 

  中图国产光栅测长机

  面议

  产品名：测长仪

• 

  中图三坐标测量机

  面议

  产品名：三坐标测量机