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生长Φ8“直拉硅单晶Φ8”热场研究及数值模拟\随着科学的飞速发展,出于提高生产率、降低成本的目的,器件厂家随着生产规模的扩大逐步要求增大硅片直径。硅单晶直径增大后,大熔硅体积、严重的热对流使单晶氧含量增大。晶体直径的增大也使结晶潜热的散发更加困难,结晶速率难以提高。为了解决这两个问题,本文在国产TDR-80单晶炉的基础上,对热场进行了局部改造,施加了新型加强复合式热屏。有限元法是一种能求得许多工程问题近似解的数值分析方法。由于拉单晶过程中投料量较大,炉体结构复杂、造价昂贵,所以拉晶实验成本太高。
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所述气流导向装置20的中轴孔2-1与该炉的石墨中轴21活 动密封连接，以防止因该中轴孔2-1与石墨中轴21之间的间隙而漏气，影 响排气效果，气流导向装置20的电极孔2-2分别与该炉的电极柱15密封连 接，以防止因该电极孔2-2与电极柱15之间的间隙而漏气，影响排气效果。所述气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温 筒17密封连接，以防止因气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的 保温筒17之间的间隙而漏气，影响排气效果。所述气流导向装置20各通气孔2-3与该炉的排气口 13通过通 气管19相连通，以提高排气效果。所述气流导向装置20由石墨制成，石墨具有强度高、抗热震性好、耐 高温、抗氧化、电阻系数小、耐腐蚀、易于精密机加工等优点。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，工业炉：分为电炉和燃烧炉（狭义的工业炉指燃烧炉）2． 主要产品七大类：电阻炉、感应炉、真空炉、电子束炉、热处理（或熔炼）机组、热处理辅助设备、燃烧炉三． 电阻炉：三大部件：加热器、炉衬、耐构件 1． 分为周期式及连续式两大类 2． 周期式炉的特征：A． 炉料同时加入同时取出 B． 加热时炉料基本不动（特殊情况除外：如滚筒炉，辊底炉） C． 工作区内力求温度均匀。
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