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权利要求1、一种直拉式单晶生长炉,包括设于该炉顶部并伸入炉内的输入管(12)、与输入管(12)相连通的环形气体分布器(11);其特征在于经输入管(12)输入的气压为0.8×10a0.9×10a,流量为30L/min。2、 根据权利要求1所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于还包括 设于该炉的坩埚支持器(14)下方和该炉底部的排气口 (13)之间的气流 导向装置(20);该气流导向装置(20)为碗形,其包括设于气流导向装 置(20)底部的中轴孔(2-1)、设于所述中轴孔(2-1)两侧的一对电 极孔(2-2)、以及设于所述中轴孔(2-1)两侧并与该炉的排气口 (13)相 对的通气孔(2-3);该炉的石墨中轴(21)
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特点编辑HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动,便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计,提高稳定性。支撑柱安装在炉体支撑平台的上面,便于平台下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术,简便干净。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,本文从晶体生长物理基础和流体力学的基本理论出发,结合硅单晶制备过程中热质输运的分析,采用实验和数值分析相结合的方法,以大直径硅单晶制备为主要研究对象,研究热场结构、控制参数和外加磁场对大直径硅单晶生长的影响。通过数值分析的手段,研究了结构参数和控制参数对晶体生长特性的影响,确定了晶体制备的工艺条件;采用28inch和32inch热场制备出400mm和45
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