真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。
真空柱是一个密封的柱形容器。
真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的扫描电镜的真空要求，但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。之所以要用真空，主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用扫描电镜时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。
为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成象的电子更多。
电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子、欧革电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象，但习惯上，仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。
有些探测器造价昂贵，比如Robinsons式背散射电子探测器，这时，可以使用次级电子探测器代替，但需要设定一个偏压电场以筛除次级电子
无线电学类: 蓝牙综合测试仪、手机综合测试仪、网络分析仪、示波器、频谱分析仪、晶体管图示仪、音频阻抗仪、音频分析仪、…….
理化类: 紫外分光光度计、原子吸收分光光度计、原子吸收光谱仪、液相色谱仪、气相色谱仪、ICP（高频等离子体发射光谱仪）、电导率仪、粘度计、量筒、移液管、滴定管、密度计、…….
光学类: 照度计、投影仪、2次元、2.5次元、3次元、影像测量仪、显微镜、积分球、光谱分析系统、光谱分析仪、标准光源箱、色差仪、…….
超声波流量计
超声波流量计由超声波换能器、电子线路及流量显示和累积系统三部分组成。超声波发射换能器将电能转换为超声波能量，并将其发射到被测流体中，接收器接收到的超声波信号，经电子线路放大并转换为代表流量的电信号供给显示和积算仪表进行显示和积算。这样就实现了流量的检测和显示。超声波流量计的电子线路包括发射、接收、信号处理和显示电路。测得的瞬时流量和累积流量值用数字量或模拟量显示。超声波流量计按测量原理分类有：①传播时间法；②多普勒效应法；③波束偏移法；④相关法；⑤噪声法。
流量计主要有以下几种分类：
1.容积式流量计：利用固定的体积对流体流量进行累加计量的测量原理。例如椭圆齿轮流量计、腰轮流量计、活塞式流量计、刮板式流量计等。2.
差压式流量计：利用流体静压差与流过流体的流量有一定函数关系，通过测量静压差求得流量的测量原理。例如节流式流量计、均速管流量计等。
3.流体阻力式流量计：利用流体流动时给导管中的阻力体以作用力，而作用力的大小和流量大小有关的测量原理。例如转子流量计、浮子流量计、靶式流量计等。
4.速度式流量计：利用流体速度与流量成正比的丽数关系，通过测量速度而求得流量的测量原理。例如涡轮流量计、电磁流量计、超声波流量计等。
5.质量流量计：能够直接测量流体的质量流量，测量度高。例如科里奥利质量流量计、热式气体质量流量计等。
以上各种流量计的测量原理主要是基于力学、电学、声学、热学、光学和原子物理等原理。例如，力学原理的流量计有利用伯努利定理的差压式、转子式；利用动量定理的冲量式、可动管式；利用牛顿第二定律的直接质量式；利用流体动量原理的靶式；利用角动量定理的涡轮式；利用流体振荡原理的旋涡式、涡街式；利用总静压力差的皮托管式以及容积式和堰、槽式等等。电学原理的流量计有电磁式、差动电容式、电感式、应变电阻式等。声学原理的流量计有超声波式．声学式（冲击波式）等。热学原理的流量计有热量式、直接量热式、间接量热式等。光学原理的流量计有激光式、光电式等。原子物理原理的流量计有核磁共振式、核辐射式等。其它原理的流量计有标记原理（示踪原理）、相关原理等。
在农业上，诸如农田水利、气象风速，甚至有些农业机械，像机动喷雾机、水泵的特性测试，同样需要流量计量。
在建设上，随着空间技术的发展，对流量计量提出了相当高的要求。如宇宙飞船、核潜艇的核动力控制，离不开流量仪表；火箭发功机试车一次消量的液化燃料，如果流量不准，不仅经济损失，而且射程也会偏离几千公里；防化装备也少不了流量仪表；有些军事工程甚至配用上千台流量计。
科学研究、对外贸易方面，流量计量同样占有重要的地位和作用。与人们日常生活密切相关的自来水、煤气、天然气、油等都大量的应用流量仪表计量。
流量计是工业生产过程和科学实验的重要参数
流量与温度、压力、物位一样，是一般热工化工生产过程的重要参数。人们依靠这些参数对生产流程进行监督和控制，并实现生产流程的自动化。这对提高产品的质量与产量，保障生产安全，改进操作工艺，改善生产条件及科学实验等方面将有着重要意义，同时，流量计量是企业经济核算的重要依据，流量计量准确可靠是企业生产率进行，佳经济效益的重要手段之一。
超声波流量计测量原理：
目前行业中使用的超声波流量计主要有两种测量原理，一种是时差法，还有一种是多普勒原理，其中又以时差法为主。
时差法测量原理：超声波在流体中顺流和逆流传播时，两者传播速度不同，顺流快，逆流慢，两者的时间差与流体本身的流速成正比关系，通过测量计算时间差来测得流速，进而测得流量。
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