当在泵的进油管路中出现局部真空时，压力的下降会导致流体中形成气体和/或气泡。当这些气泡在泵出口处高压下状态时，它们会剧烈破裂。有数据表明，当爆破压力大于10000 bar，如果发生空气/油混合物燃烧，则温度可能高达1100 º。当气泡在靠近金属表面的位置破裂时，会发生腐蚀（图1）。
图1.气蚀侵蚀发生在硬化表面
气蚀腐蚀会损坏关键部件表面并导致磨损颗粒污染液压油。慢性气蚀会导致严重腐蚀并导致泵故障。泵入口处真空度过高与分离如果真空产生的张力足够大，这种情况可能立即发生，也可能在使用多个小时后发生。活塞保持板的主要功能是使活塞滑靴与斜盘保持接触，该活塞保持板抵抗将活塞与滑靴分离的作用力。这种由真空引起的负载会加速滑靴和固定板之间的磨损，并可能导致固定板弯曲。这允许滑靴在入口期间与旋转斜盘失去接触，然后在出油口，当加压流体作用在活塞的末端时，将其锤击回斜盘。撞击会损坏活塞滑靴和旋转斜盘，从而迅速导致灾难性故障。
在斜轴泵设计中，活塞能够更好地承受真空引起的拉力。活塞的结构通常更坚固，活塞球通常通过螺栓固定的板固定在其轴槽中。但是，在高真空条件下，仍然可能发生活塞杆的拉伸失效和/或固定板的弯曲。
在叶片泵设计中，叶片在入口从其在转子中的缩回位置伸出。发生这种情况时，来自泵入口的流体会填充由延伸叶片产生的转子中的空隙。如果泵入口处存在过多真空，它将作用于叶片的底部。这会导致叶片在入口期间失去与凸轮环的接触，然后在出口期间加压流体作用在叶片的底部，从而将叶片锤回到凸轮环上。撞击会损坏叶片末端和凸轮环，从而迅速导致灾难性故障。
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