悬浮分子污染(AMC)4.1AMC的分类及控制要求情况AMC作为IC工厂所关心的问题于2年前先由日本人提出，近年来，IC生产园片直径已达3mm，工艺加工尺寸(线宽)已小于.15m，在某些加工工序及工序间园片的传送和存放环境中AMC已成为严重影响成品率的问题，已被清楚的认识到，AMC的控制已由谈论转到需要实施。对于IC生产，AMC分为D四类，即：A酸性物质，如Hcl等;B碱性物质，如NH3等;C沸点室温能在光洁表面冷凝的物质，主要是碳氢化合物，某些工艺加工环境中的水蒸汽亦需要考虑;D掺杂物质，能为园片表面吸附或与表面相互反应的物质，如砷、硼、磷等。
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