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一种连续拉晶单晶炉背景技术：目前，大多数单晶炉都是采用一次性向主炉室坩埚投料的方法，通常是生产完一炉后，等单晶炉冷却后，再往主炉室坩埚内装料，进行下一次生产，这样既浪费了时间，又造成了热量的流失，且在拉晶棒的过程中，不能进行补料操作，在拉晶棒的后期阶段，会因为硅料中某些元素的挥发而影响晶棒后半部分的质量。技术实现要素：本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种连续拉晶单晶炉，它可以连续加料、连续化料，从而实现连续拉晶，选用合适的主炉室坩埚可以实现连续拉制五六根晶棒，减少了冷却、拆炉、装炉的时间，提高了生产效率，也减少了热量的流失。为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种连续拉晶单晶炉，它包括括底座、主炉室、副炉室、下驱动装置和上驱动装置，所述主炉室和下驱动装置均安装在底座上，蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，因此，在向单晶炉内不断充入 的同时，还用真空泵将混合气体排出炉外；在排气时，混合气体流经 炉中的加热器、坩埚支持器等处，后经过炉下端的排气口排出。上述图1的单晶炉的不足之处在于单晶炉内空间较大，尤其是坩埚 支持器下方的空间较大，导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出， 热能消耗量较大；另外，现有技术中，从输入管向炉内充入时， 充气气压为1. 3x 103pa，流量为40L/min,因此其消耗量大，生产 成本较高。
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所述气流导向装置20的中轴孔2-1与该炉的石墨中轴21活 动密封连接，以防止因该中轴孔2-1与石墨中轴21之间的间隙而漏气，影 响排气效果，气流导向装置20的电极孔2-2分别与该炉的电极柱15密封连 接，以防止因该电极孔2-2与电极柱15之间的间隙而漏气，影响排气效果。所述气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温 筒17密封连接，以防止因气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的 保温筒17之间的间隙而漏气，影响排气效果。所述气流导向装置20各通气孔2-3与该炉的排气口 13通过通 气管19相连通，以提高排气效果。所述气流导向装置20由石墨制成，石墨具有强度高、抗热震性好、耐 高温、抗氧化、电阻系数小、耐腐蚀、易于精密机加工等优点。
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