臭氧水杀灭情况有些不同，其氧化反应有两种，微生物菌体既与溶解水中的臭氧直接反应，又与臭氧分解生成之羟基OH的间接反应，由于羟基OH为氧化性的氧化剂，因此臭氧水的杀菌速度极快。
臭氧能氧化分解细菌、病毒内部氧化葡萄糖所的葡萄糖氧化酶，并直接与细菌、病毒发生作用，氧化并穿透其细胞壁，破坏其细胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白质、脂质类和多糖等大分子聚合物，使细菌、病毒的新陈代谢和繁殖过程遭到破坏，而夺取细菌病毒的生命。同时还可以渗透细胞膜组织、侵入细胞膜内作用于外膜脂蛋白和内部的脂多糖，使细胞发生通透性畸变，导致细胞溶解性死亡，并将死亡菌体内的遗传基因、寄生菌种、寄生病毒粒子、噬菌体、支原体及热源（内毒素）等溶解死亡。综观无菌技术对微生物作用的原理可分为型、杀菌和溶菌型三种。臭氧灭菌消毒属于溶菌型剂体，可以达到“、地消灭物体内部所有微生物的目的”，不仅这样而且它的作用是瞬间完成的。
臭氧与消毒剂比较
臭氧作为广谱无残余污染的气体消毒剂比食品行业常用的消毒剂（如过氧乙酸、高锰酸钾、甲醛、二氧化硫）等具有特殊的性臭氧会自行分解为氧气，不产生残余污染，消毒后不需通风换气。常规消毒均需通风换气或化学中和，麻烦而又降低消毒效果。
小型臭氧机要怎么选购：
1、小型臭氧发生器的规格是按照臭氧产生的重量单位划分的。臭氧产量的单位是mg/h或g/h(毫克/小时、克/小时)，即臭氧发生器工作1小时能够产生多少重量单位的臭氧。臭氧在空气中的浓度单位是ppm或mg/m3;臭氧在水中的浓度单位是ppm或mg/L。换算方法：在空气中时1ppm=2 mg/m3;在水中时，1ppm=1mg/L。
2、在食品厂，制药厂，化妆品厂生产车间进行消毒，车间的清洁度低于300000级，空气中臭氧浓度可达10-20 mg / m3，并关闭30分钟； 如果车间内现有设备和物品需要同时消毒，则臭氧浓度需要达到20-30mg / m3； 如果要达到100,000级，10,000级，局部100级清洁车间的消毒水平，臭氧浓度达到30-100mg / m3。 在用于臭氧熏蒸的包装材料中，消毒室/空气中臭氧的浓度通常在50-200 mg / m3之间。 当将生鱼片，虾等水产品进行臭氧水浸泡消毒时，水中的臭氧浓度通常在0.8-1.0 PPM之间。
3、在室温和大气压的混合条件下，用臭氧对瓶装纯净水进行消毒，通常1m3 / h的水需要使用3g的臭氧，水中的臭氧浓度达到或超过0.3mg / L。 臭氧对瓶装矿泉水的消毒，通常以1 m3 / h的水量使用6 g臭氧，而臭氧浓度和水达到或超过0.5 mg / L。
4、当游泳池水用臭氧消毒时，要根据每小时循环的所有水流量确定何时放进臭氧量，通常以1 m3 / h的水量使用1至2 g臭氧，然后添加少量消毒剂。 当池水每小时1立方米使用4克或以上的臭氧时，将不再需要消毒剂，池水将变成清澈蓝色。
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