X射线荧光光谱分析通常在真空光路条件下工作，但光谱室和样品室有很多部位与外部相连，可能漏气的部位很多。检查真空故障时，将可能出问题的地方人为分隔为三部分：真空泵、样品室、光谱室，对这三部分逐一检查以缩小范围。样品室常见的漏气部位是样品自转装置上的密封圈，样品测量时通常以0.5转/秒的速度自转，仪器几年运行下来，样品自转处的密封圈磨损，密封效果变差。
在低X射线光管功率情况下，选一个KKα计数率约2000CPS的样品，测定计数率，然后用一个钾含量高的样品取代原样品，将光管调到满功率，保持2分钟，再将X射线光管功率减至原值，测量个样品，如窗膜导电正常，将得到原计数率，如窗膜导电性能变差，会发现计数率减小，然后慢慢回升至初始值，这时就应调换窗膜。
RoHS检测仪的基础保养
1、专人负责仪器的操作和维护。
2、在没有电磁干扰的环境下测试，如仪器附近不能有大功率的电机、电焊机等。
3、建议使用UPS（电源稳压器），保持电压稳定，以免对仪器部件造成损坏。
4、保持仪器的清洁和干燥。
5、请不要把仪器放在太脏或者太热太冷的环境里。
6、请不要自行修理仪器。
7、测试后，请关闭盖子，避免仪器受污染。
8、室内温度应保持在 -11℃～46℃。
9、室内湿度应保持在 0～60%之间。
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