净化车间中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。
目前针对装修的影响因素,影响洁净室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
对于净化车间的影响因素,一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
洁净室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
净化车间的防火知识,因为生产工艺对建筑物有,防火设计上有自己的特点。其基本特点为:
1、厂房主体多为钢筋混凝土结构,或者轻钢结构,厂房多分隔为若干小间;
2、在生产过程中使用了甲醇、、等易燃易爆化学危险物品,对洁净厂房构成了潜在的火灾威胁;
3、常处于密闭状态,少窗少门;
4、厂房内设备昂贵,怕高温、忌水;
5、厂内工作人员少,不利于发现火情和处理初期火灾;
6、内部结构复杂,通道曲折。
在净化车间装修中,要严格控制建筑物的耐火等级,设计时将建筑构件的耐火性能与厂房的耐火等级相配套,从而大大减少了火灾发生的可能性。我们注意装修材料的燃烧性能,尽量减少使用一些高分子合成材料,以避免火灾发生时产生大量烟气,不利于人员逃生。
另外,要对电气线路的穿管做严格要求,在有条件的地方要尽量使用钢管,电气线路不成为火灾蔓延的途径。
综上所述,洁净厂房对空气的温度,湿度洁净度要求较高。设计者要根据工艺要求,生产洁净度级别合理选用建筑材料,考虑耐火性能,从而达到GMP设计要求。
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