真空清扫是粗清扫和普通清扫常用的，一般区域和区域清扫中重要的步。真空清扫是水+拖把清扫的前提，对除去大颗粒异物，玻璃碎屑效果明显，但是并不能取代水+拖把清扫。真空清扫请务必按同一方向进行，以免造成地面及作业员周围空气乱流。真空清扫使用HEPA（滤网）、ULPA（低效滤网）及真空除尘器。如果有可吸入液体的真空吸湿器，在拖地时和拖完后，地面上剩余的水或浮游颗粒可被去除，起到干燥作用。
划分清扫表面
无尘室内所有的接触面都有被污染的可能性，所以要规定清扫的频率。根据无尘室内生产的重要度对不同的接触面进行等级划分。清扫方法根据不同的清洁度等级要求进行。为达到不同等级的清洁度要求，对清扫方法进行文件性规定。
日常清扫无法涉及的表面，需要进行定期清扫。清扫中注意不要污染产品。大多数表面按周清扫，清扫时，产品要有覆盖保护并移出清扫区域。 洁净度没什么要求的表面，可以按月或是更长间隔时间清扫。虽然长时间才清扫一次，但是清扫流程安排表中也要有记录。无尘室内从上到下全体设施要有完全清扫的清扫流程安排表。完全清扫包含保管区域、服务区域、配管区及备用品类。完全清扫多在停止生产时，周末，假日或者其他没有生产的情况下进行。在连续生产有少有假期时，完全清扫是很困难的事情，因此，要在有限的假期内集中清扫。
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