化学组分上的均匀性： 就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。 具体因素也在下面给出。
真空镀膜中常用的塑料，ABS是早运用的，是一起满意三个条件的塑料，A代表丙烯腈，B代表丁二烯，S代表苯乙烯，塑料中含有以上三种物质的便是ABS塑料了，ABS镀上膜层后，能够很好的发挥其机械功能、抗冲击性，依靠其硬度大，耐磨损，本钱不高，常常被用于替代某些金属机械零部件，也用于出产家用电器的外壳，但由于含有丁二烯，ABS不能在室外运用，否则会变色。
真空镀膜机应在真空过程前对真空材料进行清洗，去除工件或系统材料表面的污染物;车灯镀膜机零部件表面的清洁也是很有必要的，因为污染物引起的气体和蒸气源不仅会使真空系统无法获得所需的真空度。而且由于污染物的存在，还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。
暴露在空气中的真空镀膜机表面容易受到污染。污染源有很多，初的污染通常是地表本身的一部分。吸附现象、化学反应、浸出干燥过程、机械处理、扩散和偏析过程都增加了各种组分的表面污染物。真空材料表面的常见污染物如下。
①油脂:润滑剂、切削液、真空油脂等。在加工、组装和操作过程中被污染;
②水基类:操作时的手汗、吹气时的水蒸气、唾液等。
③表面氧化物:材料长时间放置在空气中或潮湿空气中形成的表面氧化物;
④酸、碱、盐类物质:清洗时的残留物质、手汗、水中的矿物质等。
⑤环境空气中的抛光残渣、灰尘和其他有机物等。
工件常用的除气方法是烘烤。工件中的气体和水分通过加热排出。涂装前，工件边抽边加热。当工件中的水分和气体因受热而释放出来时，它们与真空室中的气体一起被真空泵抽出。针对不同的工件采取不同的脱气措施，可以有效控制工件内部气体和水的排放，提高涂层的稳定性和均匀性。
检查泄漏情况是真空镀钛机真空度的一种检查方法，简称检漏。真空的凹凸度直接影响镀膜的作用，因此检漏是的。通常情况下，真空室的漏气是由腔壁上的一些孔或元件前的薄接头引起的。抽气系统抽气时，真空室内压力降低。内外压差使气体从外部高压流向低压真空室，造成真空度降低。
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