尘室设计时，要注意尽量避免可能发生的污染。设备日常运作、保养、生产过程，人员活动及其他要素是无尘室内污染并扩散的原因。因此，希望在不影响产品和生产进度的前提下，对污染进行充分的清洁。清洁程序按照不影响生产要求的洁净度前提下，制定整体的清洁方案。清洁好避开生产作业时。如果无法避开，要把影响降到低并对制定特定的清洁程序。
洁净度要求高的接触面（接触面）
对洁净度要求高的接触面一般是：制造生产地点及其周边区域，会直接污染产品，对生产过程造成影响的场所。这些接触面需要保持高的洁净度。单一方向气流的储物柜，作业台，工作隔离区等的隔离装置，通常这些接触面需要管控洁净度。
一般无尘室接触面
在无尘室内，除去生产地点，单一方向气流的局部管控之外的接触面为一般无尘室接触面。为了防止一般接触面的异物移动污染到接触面，需要对一般接触面进行定期的清扫。
更衣室和风淋室的接触面
更衣室和风淋室是人流量大的地方，所以容易受到污染。要将污染限度降到低，以免污染到无尘室内环境，就需要对这些区域进行频繁的清扫。
玻璃及玻璃产品的碎屑等大的废弃物被真空吸尘器去除。吸不到的地方可以在进行擦洗前进行明确标示。地面按照规定的流程使用湿式或者药液清扫方式。清扫期间，采用纯水或是药液时，为降低污染应该频繁换水。对于大面积的地面，除了按照规定流程作业外，为方便管理将地面划分不同区域进行清扫。清扫应从区域向一般区域方向进行。在无尘室内的清扫顺序并不是一成不变的，在洁净度要求很高的时候，有时要重复使用拖把，达到地面干净。 清扫时，为了防止不经意的危险，遇到阻碍物要迂回擦拭。药液和纯水拖地之后用真空吸湿器将多余的水吸走，缩短干燥时间。对于去除地面顽固性脏污，采用水喷雾/擦洗+真空吸湿器清扫。
机械设备有很多供输管道、电线和连接部位，清扫时要注意检查管道和电线的破损情况，断开电源之后再进行清扫，防止危险的发生。机械设备有很多与产品直接接触的接触面，好进行等级划分，根据洁净度等级要求选择合适的清扫方式，并对不同等级区域进行标示，方便清扫正确进行。
a)设备的外表面跟无尘室内的洁净度是一致的。同墙壁、水平面、垂直面一起按照合适的顺序清扫。
b)设备的内表面分为设备内壁和内部设备接触面。内壁将重要的产品生产区域隔离开，内壁的清扫应该在内部设备接触面清洁之后再进行清洁。内部设备接触面的清扫除了要清洁之外还要定期保养维护。
c)与产品接触的接触面是离产品近的地方，因此有产品在时不可按照清扫顺序及流程进行，需根据洁净度要求进行，并以文件方式规定。
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