按使用的气体原料划分，有氧气型和空气型两种。氧气型通常是由氧气瓶或制氧机供应氧气。空气型通常是使用洁净干燥的压缩空气作为原料。由于臭氧是靠氧气来产生的，而空气中氧气的含量只有21%，所以空气型发生器产生的臭氧浓度相对较低，而瓶装或制氧机的氧气纯度都在90%以上，所以氧气型发生器的臭氧浓度较高。
气源
臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。按臭氧发生器结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极是裸露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面消毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。但间隙放电式臭氧发生器成本远开放式。
臭氧发生器是一种内热式气相反应器。因为空气等类似气体都是不好的导热体，电晕放电产生的热量会使气体温度升高。较高的温度会加速臭氧的逆反应，即臭氧被还原成氧气，从而降低臭氧产量。因此，冷下也是提高发生器效率的一项措施。由于水和油的吸热系数远大于空气，工业发生器一般采用水冷或油冷发生器。由于空气冷方便易行，这种形式常用于微型臭氧发生器。 对于采用水冷方式的发生器，应考虑冷却水的水质，防止冷却水结垢，以免影响臭氧发生器的散热效果，从而减少臭氧的输出，增加维护成本。因此，如果冷却水质量不好，需要增加板式冷却器。
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