需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。
蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且终沉积在基片表面,经历成膜过程,终形成薄膜。
1)所需设备:CCZK-1350-OGS光学电子枪镀膜设备
2)获得膜层:多层化合物膜层,超硬防水膜层,防指纹膜层,彩色膜层
3)涂装流程:玻璃产品的前处理清洗----烘箱烘干-----真空镀膜----成品包装
4)基本配置:
腔体结构:D1350MM*H1350MM 立式单开门
腔体材质:304不锈钢
转动方式:公自转结合,穹顶行星式转架
蒸发电源:SCR可控硅+大功率蒸发变压器
蒸发阻源:3组
电 子 枪:E型电子枪,磁偏转270°
坩 埚:可旋转多孔位坩埚
悬浮式高真空卷绕式镀膜机的卷绕控制要求的转矩控制,以般采用直流驱动,但是随着交流驱动技术的飞速发展,现在逐步采用交流永磁同步伺服电机或交流异步电机驱动。丹佛斯FC302系列驱动器具有伺服级的驱动性能,驱动交流异步电机也有实现平稳的转矩控制,为这个行业提供了一种易用的解决方案,用户只需要设置几个简单的参数,就能满足实际生产需求,操作和调试也非常简便。
一、悬浮式高真空卷绕式镀膜机的传动结构:
放卷转向为正
放卷转向为负
3驱动悬浮式高真空卷绕式镀膜机的典型传动结构,其中:
M1为冷却辊,直径恒定,由一台FC302驱动,冷辊的速度即为镀膜的线速度。
M2为收卷辊,中心卷绕,直径逐步变大,由一台FC302驱动,提供收卷张力。
M3为放卷辊,中心卷绕,直径逐步变小,由一台FC302驱动,提供放卷张力。
冷却辊和收卷辊的转向是固定的,但是放卷辊由于卷筒卷绕方向不同,工作时有正、反两种转向,对应反、正两种转矩。
真空镀膜机传动系统的特点:
1.由于真空室狭小,无法安装张力检测装置,所以收、放卷张力完全要靠收、放卷驱动的电机直接控制。因此收、放卷驱动器都工作于转矩工作模式。对于较轻较薄的材料,收卷还有张力锥度功能。
2.由于工艺方面的原因,起主传动作用的冷却辊上没有压辊,因此冷却辊只能靠摩擦力带动薄膜;收、放卷张力相差较大时,薄膜很容易在冷却辊上打滑。如何防止打滑是驱动控制方面的难题。
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