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提拉式单晶炉在节能减排方面的主要目标包括,非化石能源占一次能源消费比重达到11.4%,单位国内生产总能源消耗降低16%,单位国内生产总值化碳排放降低17%。要达到这样的目标,需要调用一切有效的手段,而光伏发电无疑是一种的选择。纵观能源利用现状,以及为实现“十一五”节能减排目标所作出的努力,在未来的节能减排目标上仍面临着重大的挑战。
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本发明可通过加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置将外部加料器移出工作位并旋开,进而方便拆炉和清理,本发明的加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置配上工装还可以吊装主炉室的零部件;、本发明可通过副炉室升降驱动装置和副炉室旋转驱动装置驱动副炉室移动,并在副炉室移取晶位的过程中,通过电动接晶托防止晶棒掉落,安全;、当不再继续加料时,通过化料器升降驱动装置将外部化料器提升不干涉主炉室坩埚上升的位置,并通过化料器旋臂的旋转旋开外部化料器,进而方便拆炉和清理;、本发明通过减震装置对下驱动装置进行减震,使拉晶时下驱动装置不受外界震动影响,进而保晶棒质量。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,提拉式单晶炉技术参数1、电源电压:380VAC±5%2、电源频率:50HZ 3、电源相数:3相3线制4、变压器容量:190KVA5、加热器加热功率:160KW6、加热温度:1600℃7、加热器加热电压:60V8、冷炉极限真空度:<a9、晶体直径:¢6〞~¢8〞10、熔料量 :90Kg11、主炉室尺寸:φ900×1250mm上炉室尺寸:φ900×900mm下炉室尺寸:φ900×350mm12、翻板阀通径:φ280mm13、封头炉盖高度:410mm14、副炉室尺寸:φ280×250015、籽晶转速范围:1~40rpm16、籽晶拉速范围:0.2~8mm/min17、籽晶快速:≥350mm/min18、籽晶在炉内有效行程:3500mm19、籽晶在副室内有效行程:2100mm20、坩埚升速范围:0.02~1mm/min21、坩埚快速:≥100mm/min22、坩埚在炉内有效行程:400mm23、坩埚转速范围:1~30rpm24、两个电极孔孔距:480mm 25、耗水量:25m3/h26、主机占地面积:2500x2000mm27、主机高度:6800mm28、主机重量:约7500Kg
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