X射线源：是发射X射线的部件，常用于X射线管或放射性同位素。不同类型的X射线源对样品的分析有不同的适用性。
样品室：样品置放的地方，通常设计为真空或气体氛围，以避免空气对测量结果的影响。
探测器：用于接收测量到的荧光X射线，并将其转化为电信号。常见的探测器有硅漂移探测器（SDD）和气体探测器。
数据处理系统：负责分析探测器发出的信号，生成终的数据报告。现代的XRF仪器通常配备的软件，能够进行复杂的数据分析和处理。
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