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GB/T 16945 2009是中国国家标准《电子工业用气体氩气纯度及杂质分析》。这个标准规定了电子工业中使用的氩气的质量要求，包括氩气的纯度等级、杂质含量限制以及测试方法。氩气在电子工业中广泛用于半导体制造、焊接保护、光纤生产等领域，对气体的纯度有的要求，因为杂质的存在可能影响产品质量和工艺性能。 根据GB/T 16945 2009，电子工业用氩气通常分为几个等级，如高纯氩（HP Ar）、纯氩(UHP Ar)或电子级氩(Electron Beam Grade Ar)，每种等级的氩气杂质含量都有严格的规定，例如： 高纯氩（HP Ar）：适用于一般电子元器件的制造，对杂质含量有较低要求。 纯氩（UHP Ar）：用于对杂质敏感的精密电子设备和光刻工艺，杂质含量更低，如痕量氧、水分和其他金属元素的含量需要达到非常低的水平。 电子级氩（EBG Ar）：专为电子束曝光系统设计，要求的纯度，以防止材料蒸发和工艺缺陷。 在进行检测时，会检查氩气中的主要杂质成分，如氧含量（O2）、水分（H2O）、甲 （CH4）、氮气（N2）以及可能存在的其他微量金属元素。检测流程可能包括气体采样、化学分析、仪器测量等步骤，确保所供应的氩气符合电子工业应用的纯度标准。
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