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由于 该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通，整个炉内的 一氧化硅与的混合气体(包括坩埚支持器14下方的混合气体)能通畅 地排出炉外，整个炉内不存在排气死角，既有效地防止了一氧化硅气体对 加热器7和坩埚支持器14等石墨器件的腐蚀，还可有效防止杂质粉尘吸附 在这些石墨器件上，从而确保了该炉的使用寿命。气流导向装置20的一对 通气孔2-3与该炉的一对排气口 13相对设置，缩短了排气管路的长度，利 于提高排气效率。
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