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GB/T 16944 2009《电子工业用气体 氮》标准定义了电子工业中使用的氮气的技术要求,包括纯度等级、状态(液态或气态)、以及可能涉及的其他特性,比如气体组分(如氢、氧、氩、氦、二氧化碳等)、杂质含量、包装和标志要求。 检测范围主要包括以下几个方面:
纯度检测 : 工业用氮气:99.5%纯度(氧气含量≤0.5%) 纯氮:99.99%纯度(氧气含量≤0.01%) 高纯氮:99.999%纯度(氧气含量≤0.001%)
2. 气体组分 :除了氮,还包括可能存在的其他微量气体,如氢、氧、氩、氦、二氧化碳、 、丙 、丁 、六氟化硫等。
3. 杂质含量 :除了氧气,还有可能检测的其他杂质,如水分、机械杂质、油分、碳氢化合物等。
4. 状态检测 :对于液态氮,可能会涉及到气化后的纯度和气体状态的稳定性检查。
5. 包装与运输 :对于存储和运输容器的要求,如压力、温度、充装量、泄漏测试等。
6. 安全与环保 :可能包括对气体安全性的评估,如压力、温度控制,以及环保排放标准。
7. 特殊应用的纯度要求 :如发电级氮气(95 99.6%纯度)在特定应用中的要求,如气封吹扫、锅炉铺设等。 这个标准适用于从空气分离或氨还原法制得的氮气,并特别针对大规模集成电路制造中的使用需求。如果需要更详细的检测项目,通常会根据具体的应用领域和设备要求进行定制化的检测。
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