扫描电镜可以采集多种不同类型的信号用于成像和分析,其中二次电子(SE)和背散射电子(BSE)信号是基本也是常见的两种信号类型。
不同厂家和型号的电镜在采集SE,BSE信号时所用的探测器都具有各自特的技术,但旁置式二次电子探测器和极靴下背散射电子探测器在架构和工作原理方面相对固定,应用也很广泛,因此本文只会对旁置式二次电子探测器和极靴下背散射电子探测器进行介绍。
扫描电镜及X射线能谱仪或电子探针为准确鉴定钢中非金属夹杂物属性提供了非常可靠的技术,他可以将D类等非金属夹杂物的二维和三维形貌、与所含元素的X射线元素面分布图、与其内含有元素或所含简单氧化物的重量百分数和原子百分数定量分析结果有机结合起来,对这种D类非金属夹杂物给出一个全新的诠释。由此,作者提出了非金属夹杂物的相结构概念,用“复相夹杂物”代替目前常用的“复杂夹杂物”或“复合夹杂物”,重新认识这个对钢性能有重要影响的D类非金属夹杂物,与业界同行商榷。
激光扫描共聚焦显微镜是在传统荧光显微镜成像的基础上采用激光作为光源,通过使用激光扫描装置和共轭聚焦装置,利用计算机对所观察的对象进行数字图像处理的现代化光学显微镜。它能以的分辨率采集细胞或组织内部的荧光标记图像、观察细胞或组织内部的微细结构和形态学变化、在亚细胞水平观察胞内重要离子浓度或 pH 的变化、结合电生理技术观察和记录细胞的生理活动。使用激光扫描共聚焦显微镜,还可以对观察样品进行断层扫描和成像、重构和分析细胞的三维空间结构。
蔡司解决方案在增材制造领域的应用范围覆盖粉末和材料分析,所使用的设备包括光学显微镜、扫描电镜、X射线技术。
使用光学显微镜来测试金属粉末的粒径分布
使用SEM扫描电镜对3D打印金属粉末的球形度和实心性进行分析
使用CT对粉末颗粒的宽高比和粒径进行分析
对于内部缺陷,蔡司的解决方案也能轻松检测,比如微裂纹、分层、疲劳裂纹、盈利、孔隙率、粉末残留物和气孔等。
特点
使用多视角成像功能查找样品在成像物镜中的佳位置
在进行样品信息的后期处理前,从不同视角采集信息对整个样品成像
通过重组不同视角的信息来提高图像的分辨率,然后使用特殊的去卷积算法进一步提高图像质量
扫描电镜及X射线能谱仪或电子探针为准确鉴定钢中非金属夹杂物属性提供了非常可靠的技术,他可以将D类等非金属夹杂物的二维和三维形貌、与所含元素的X射线元素面分布图、与其内含有元素或所含简单氧化物的重量百分数和原子百分数定量分析结果有机结合起来,对这种D类非金属夹杂物给出一个全新的诠释。由此,作者提出了非金属夹杂物的相结构概念
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