EDS可以提供元素的定性分析和定量分析，能够准确地检测材料表面的元素种类和含量。通过分析元素分布情况，可以识别化学腐蚀、应力腐蚀开裂等化学或物理作用导致的失效，进一步确定失效机制。
同时，SEM+EDS还可以实现多元素同时分析，提高分析效率和精度。通过结合形貌观察和元素分析的结果，可以更准确地判断材料的失效原因和失效模式。
SEM+EDS可以用于研究环境污染物质对生物体（如鱼类、昆虫等）的毒害作用及其机制。通过观察生物体在不同污染环境下的形貌变化和元素分布情况，可以深入探究环境污染物质对生物体的毒害作用及其与环境因素的相互作用。
SEM可以观察土壤中重金属、有机污染物的形貌和分布情况，而EDS可以分析这些物质的元素组成。这有助于了解土壤中污染物的赋存状态、形态和浓度，进而评估不同土壤修复技术的可行性和效果。
SEM可以观察环境修复前后的物质微观结构和元素分布情况，而EDS可以分析这些物质的元素组成。这有助于评估环境修复技术的实际效果和对环境的长期影响，为环境修复技术的推广和应用提供科学依据。
材料研究：SEM+EDS可以用于研究航空航天领域中使用的材料的性能和特性。例如，对于复合材料、钛合金等材料，SEM可以观察其微观结构和界面，而EDS可以分析其元素分布和化学成分。这有助于了解材料的力学性能、耐腐蚀性等关键特性。
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