X射线源：是发射X射线的部件，常用于X射线管或放射性同位素。不同类型的X射线源对样品的分析有不同的适用性。
样品室：样品置放的地方，通常设计为真空或气体氛围，以避免空气对测量结果的影响。
探测器：用于接收测量到的荧光X射线，并将其转化为电信号。常见的探测器有硅漂移探测器（SDD）和气体探测器。
数据处理系统：负责分析探测器发出的信号，生成终的数据报告。现代的XRF仪器通常配备的软件，能够进行复杂的数据分析和处理。
XRF的筛选X射线荧光光谱仪是公认的RoHS筛选检测仪器，由于其检测速度快、分辨率高、实施无损检测，所以被广泛采用。荧光光谱仪繁多，以至于分不出谁好谁差了。在《电子信息产品有毒有害物质的检测方法》IEC62321标准文本里提到：“用能量散射X射线荧光光谱法（ED－XRF）或波长散射X射线荧光光谱法（WD－XRF）对试样中目标物进行测试，可以是直接测量样品（不破坏样品），也可以是破坏样品使其达到”均匀材料”（机械破坏试样）后测试。”能真正准确无误地将试样筛选出合格、不合格、不确定三种类型，而且能限度地缩小“不确定”部分是好仪器。在既定准确度的情况下尽可能快速检测。尤其是企业选购，光谱仪是做日常RoHS监督检测用，非常看重这一点。所以，能够准确无误地将试样筛选出合格、不合格、不确定三种类型，又能限度地缩小“不确定”部分，而且全部过程是在短的时间内完成的X射线荧光光谱仪是满足使用要求的光谱仪
在现代材料和环境分析领域，X荧光光谱仪以其、的特色，成为了各类实验室的重要设备。其应用范围从金属材料、矿物质、土壤到电子废料的分析，几乎涵盖了所有需要元素定量分析的领域。
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