超纯氮气（通常指纯度在99.999%或以上）的检测范围通常是针对其主要杂质的浓度，如氧气（O2）、氩气（Ar）和氢气（H2），以及其他痕量气体的含量。根据您提供的信息，对于超纯氮气，其氧（O2）的纯度要求为体积分数/10^ 6 ≤ 0.1，这意味着氧气的体积分数不能超过百万分之一。 在实际检测中，超纯氮气的分析可能包括以下步骤：
气相色谱法 ：使用气相色谱仪来分离不同气体成分，测量它们在总气体中的浓度。
2. 光谱分析 ：如质谱法或红外光谱，用于确定特定元素或化合物的存在。
3. 电化学传感器 ：用于检测痕量气体，如氧气、氩气等。
4. 热导检测器 ：对于某些应用，可能会使用这种非色散检测器来测量气体的导热性差异。 检测结果会 氮气的纯度，以及任何已知杂质的具体浓度。这些数据对于许多应用，如半导体制造、实验室实验、电子设备填充、食品包装等，都是非常关键的，因为超纯氮气在这些领域中的纯度直接影响到 终产品的质量。
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