尘室设计时，要注意尽量避免可能发生的污染。设备日常运作、保养、生产过程，人员活动及其他要素是无尘室内污染并扩散的原因。因此，希望在不影响产品和生产进度的前提下，对污染进行充分的清洁。清洁程序按照不影响生产要求的洁净度前提下，制定整体的清洁方案。清洁好避开生产作业时。如果无法避开，要把影响降到低并对制定特定的清洁程序。
更衣室和风淋室的接触面
更衣室和风淋室是人流量大的地方，所以容易受到污染。要将污染限度降到低，以免污染到无尘室内环境，就需要对这些区域进行频繁的清扫。
玻璃及玻璃产品的碎屑等大的废弃物被真空吸尘器去除。吸不到的地方可以在进行擦洗前进行明确标示。地面按照规定的流程使用湿式或者药液清扫方式。清扫期间，采用纯水或是药液时，为降低污染应该频繁换水。对于大面积的地面，除了按照规定流程作业外，为方便管理将地面划分不同区域进行清扫。清扫应从区域向一般区域方向进行。在无尘室内的清扫顺序并不是一成不变的，在洁净度要求很高的时候，有时要重复使用拖把，达到地面干净。 清扫时，为了防止不经意的危险，遇到阻碍物要迂回擦拭。药液和纯水拖地之后用真空吸湿器将多余的水吸走，缩短干燥时间。对于去除地面顽固性脏污，采用水喷雾/擦洗+真空吸湿器清扫。
根据无尘室的用途，在需要的场合采用表面处理溶剂，这种处理剂，对无尘室内的产品有一定的保护作用，清洁完成后就不要再使用处理溶剂了。溶剂效果会随着时间的变化而减弱，降低无尘室的清洁度。使用这种处理剂，不能持续管理的话，就会有设备、产品污染的风险。所以使用时，要定期的对无尘室进行检查实验，确保无尘室不被污染。如果处理剂效果变弱，洁净度降低，需要马上采取改善对策。
制定清扫流程
制定清扫流程是要先将各种无尘室的接触面进行等级分类，并了解不同表面的污染速度。清扫流程根据无尘室要求的洁净度制定合适的清扫频率。对表面污染进行试验和评估之后，做成流程手册。对无尘室内的制造工程、产品要求事项、清扫频率（每日一次/每周一次或其他频率）等进行相关规定。
日常清扫无法涉及的表面，需要进行定期清扫。清扫中注意不要污染产品。大多数表面按周清扫，清扫时，产品要有覆盖保护并移出清扫区域。 洁净度没什么要求的表面，可以按月或是更长间隔时间清扫。虽然长时间才清扫一次，但是清扫流程安排表中也要有记录。无尘室内从上到下全体设施要有完全清扫的清扫流程安排表。完全清扫包含保管区域、服务区域、配管区及备用品类。完全清扫多在停止生产时，周末，假日或者其他没有生产的情况下进行。在连续生产有少有假期时，完全清扫是很困难的事情，因此，要在有限的假期内集中清扫。
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