热式气体质量流量计故障：工作不稳定；处理方法：流量计前压力稳定，投运方确。流量计检测
投运流量计时做到流量计前的平稳，不能直接开钢瓶减压阀代替流量计前手阀。在更换钢瓶或切换流量计时，要关闭流量计前手阀，待压力稳定在操作压力0.7Mpa以下，慢慢打开手阀。突然的流量涌动会造成器件损坏。更换钢瓶或切换流量计时由工艺人员和仪表人员共同完成，相互督促。切忌用压缩空气对管线进行吹扫。
热式气体质量流量计故障：流量计堵塞；处理方法：流量计前的过滤器及流量计需要定期清理。流量计检测
为了介质中的杂质（尤其是油、水成分）得到有效的过滤，保持限流元件、传感器与阀芯的清洁，工艺人员需要利用开停车期间的时间对流量计前的过滤器进行清理，仪表人员在开停车期间，工艺停车后立即接入干燥的氮气正反向吹扫流量计，工艺开车前再转投BF3，注意：一定在流量计有给定值既阀门有开度后进行吹扫，禁止全关时强行用气压顶开阀门。这样会造成流量计内调节阀不可修复性损坏。吹扫时间不能低于30分钟。
为流量计通过介质无杂质，流量计能够正常投用，要求流量计前过滤器每个月至少更换一次，平时每天仪表工巡检时观察流量计前压力表，如果压力表指示低于4公斤，此时说明过滤器堵，应立即通知工艺车间更换过滤器。流量计检测
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