晶圆传片设备主要由洁净大气机械手、晶圆载物台、晶圆对准器、视觉系统、控制系统、空气过滤器组成一个高洁净度的运行空间,工厂自动化系统调度天车将晶圆盒放在晶圆载物台上,晶圆载物台通过开盒装置将晶圆盒打开,并将晶圆盒与设备的洁净空间连通,晶圆载物台在开盒时会扫描晶圆的位置并和工厂自动化系统中的晶圆位置进行校验,校验无误后工厂自动化系统会发送任务到晶圆传片设备,晶圆传片设备会根据任务来对传片、缺口和圆心对准、读取ID、翻片、倒片等动作进行组合,任务结束后晶圆载物台会扫描晶圆位置并关闭晶圆盒,工厂自动化系统会调度天车将晶圆盒取走到下程。晶圆传片设备的应用可以使晶圆下线、传片、翻片、出厂过程实现全自动化运行,可以显著提升晶圆制造的效率和良率。
顶面碎片(TSC, top-side chipping),它发生晶圆的顶面,变成一个合格率问题,当切片接近芯片的有源区域时,主要依靠刀片磨砂粒度、冷却剂流量和进给速度。背面碎片(BSC, back-side chipping)发生在晶圆的底面,当大的、不规则微小裂纹从切割的底面扩散开并汇合到一起的时候(图1b)。当这些微小裂纹足够长而引起不可接受的大颗粒从切口除掉的时候,BSC变成一个合格率问题。
为了接收今天新的切片挑战,切片系统与刀片之间的协作是必要的。对于(high-end)应用特别如此。刀片在工艺优化中起主要的作用。为了接纳所有来自于迅速的技术发展的新的切片要求,今天可以买到各种各样的刀片。这使得为正确的工艺选择正确的刀片成为一个比以前更加复杂的任务。
以稳定的扭矩运转的系统要求进给率、心轴速度和冷却剂流量的稳定。冷却剂在刀片上施加阻力,它造成扭力。新一代的切片系统通过控制冷却剂流量来保持稳定的流速和阻力,从而保持冷却剂扭矩影响稳定。
当切片机有稳定的冷却剂流量和所有其它参数都受控制时,维持一个稳定的扭矩。如果记录,从稳定扭矩的任何偏离都是由于不受控的因素。这些包括由于喷嘴堵塞的冷却剂流量变化、喷嘴调整的变化、刀片对刀片的变化、刀片情况和操作员错误。
切片工艺变得越来越且要求高。切割迹道变得越窄,可能充满测试用衰耗器(test pad),并且刀片可能需要切割由不同材料制成的各种涂敷层。在这些条件下达到大的切片工艺合格率和生产率要求认真的刀片选择和的工艺控制能力。
合肥PTFE材料加工特氟龙槽
面议
产品名:PTFE材料加工,PTFE溢流槽,PTFE废液槽,PTFE酸槽,特氟龙槽
福州定制PTFE材料加工
面议
产品名:PTFE材料加工,PTFE溢流槽,PTFE废液槽,PTFE酸槽,特氟龙槽
广州PTFE材料加工特氟龙槽
面议
产品名:PTFE材料加工,PTFE溢流槽,PTFE废液槽,PTFE酸槽,特氟龙槽
苏州PTFE材料加工特氟龙槽
面议
产品名:PTFE材料加工,PTFE溢流槽,PTFE废液槽,PTFE酸槽,特氟龙槽
福州PTFE材料加工特氟龙槽
面议
产品名:PTFE材料加工,PTFE溢流槽,PTFE废液槽,PTFE酸槽,特氟龙槽
郑州PTFE材料加工特氟龙槽
面议
产品名:PTFE材料加工,PTFE溢流槽,PTFE废液槽,PTFE酸槽,特氟龙槽
西安PTFE材料加工特氟龙槽
面议
产品名:PTFE材料加工,PTFE溢流槽,PTFE废液槽,PTFE酸槽,特氟龙槽
南通PTFE材料加工特氟龙槽
面议
产品名:PTFE材料加工,PTFE溢流槽,PTFE废液槽,PTFE酸槽,特氟龙槽