更衣室和风淋室的接触面
更衣室和风淋室是人流量大的地方，所以容易受到污染。要将污染限度降到低，以免污染到无尘室内环境，就需要对这些区域进行频繁的清扫。
基本的清扫
一般保持无尘室的清洁度，需要一系列的作业流程。制定清扫标准及符合标准的基本清扫方法。
基本清扫的分类清扫
从清扫前的状态到清扫完毕后达到期望的洁净度，可以分为三类：“粗清扫”、“普通清扫”和“精密清扫”。
a)“粗清扫”---去除直径在50μ以上的大颗粒。这种类型的颗粒一般在地面，更衣室，风淋室常见。生产作业过程中发生的，磨耗坏损、溢出的异物是污染接触面及地面的原因之一。建筑物发尘和设备维修也是多产生大颗粒异物的原因。
b)“普通清扫”---去除直径在10μ~50μ较小颗粒的异物。适用一般无尘室接触面。通常，墙壁和作业台包括在普通清洁范围之内。在粗清扫之后，还会有很多异物残留，普通清扫可以达到更高的洁净度标准。
c)“精密清扫”---去除10μ以下的残留异物。精密清扫是在产品制造场所和保管场所以及附近的接触面进行。
真空清扫是粗清扫和普通清扫常用的，一般区域和区域清扫中重要的步。真空清扫是水+拖把清扫的前提，对除去大颗粒异物，玻璃碎屑效果明显，但是并不能取代水+拖把清扫。真空清扫请务必按同一方向进行，以免造成地面及作业员周围空气乱流。真空清扫使用HEPA（滤网）、ULPA（低效滤网）及真空除尘器。如果有可吸入液体的真空吸湿器，在拖地时和拖完后，地面上剩余的水或浮游颗粒可被去除，起到干燥作用。
划分清扫表面
无尘室内所有的接触面都有被污染的可能性，所以要规定清扫的频率。根据无尘室内生产的重要度对不同的接触面进行等级划分。清扫方法根据不同的清洁度等级要求进行。为达到不同等级的清洁度要求，对清扫方法进行文件性规定。
根据无尘室的用途，在需要的场合采用表面处理溶剂，这种处理剂，对无尘室内的产品有一定的保护作用，清洁完成后就不要再使用处理溶剂了。溶剂效果会随着时间的变化而减弱，降低无尘室的清洁度。使用这种处理剂，不能持续管理的话，就会有设备、产品污染的风险。所以使用时，要定期的对无尘室进行检查实验，确保无尘室不被污染。如果处理剂效果变弱，洁净度降低，需要马上采取改善对策。
制定清扫流程
制定清扫流程是要先将各种无尘室的接触面进行等级分类，并了解不同表面的污染速度。清扫流程根据无尘室要求的洁净度制定合适的清扫频率。对表面污染进行试验和评估之后，做成流程手册。对无尘室内的制造工程、产品要求事项、清扫频率（每日一次/每周一次或其他频率）等进行相关规定。
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