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在该炉工作前,由设于排气口 13上的真空泵将炉内空气排尽,然后从 该炉上端充入。工作时,炉内的石英坩埚上方不断有一氧化硅和粉尘 杂质生成,因此在不断充入的同时,所述真空泵同时将一氧化硅、粉 尘杂质与等的混合气体排出,其中,气体的流动过程为从石英坩埚上 方经坩埚支持器14与发热体16之间的间隙,以及发热体16与保温筒17 之间的间隙流入气流导向装置20,然后经图6中的气流导向装置20的一对 通气孔2-3、通气管19从排气口 13排出。本实施例的气流导向装置20可有效减小炉内空间(尤其是坩埚支持器 14下方的空间),便于排气,且利于减少热能和的消耗量;另外,
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炉子本体包括机架、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀、副炉室、籽晶提升机构、液压驱动装置、真空系统、冲系统及水冷系统。机架由底座、上立柱和下立柱组成,是炉子的支撑装置。江浙沪皖赣冶炼行业成套设备回收单位,整改停用冶炼机械产品拆除回收,本长期收购中频炉,单晶炉,电解炉,高风炉,热风炉,单晶硅生长炉,整改回收,整流柜收购,电抗器拆除回收,水冷电缆拆除收购,动力电缆拆除收购业务,我长年收购单晶炉设备欢迎来电详询。
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