在某些特定应用中,如测量物体表面形貌和质量,振镜需要具有高分辨率和精度。这意味着它能够检测到微小的表面缺陷或变化,并提供准确的测量结果。
**XY轴振镜电机**:这是振镜的核心部件,负责驱动反射镜进行快速、准确的振动。电机通常由伺服系统控制,以确保光束偏转的性和稳定性。
**XY轴伺服驱动板**:伺服驱动板是控制振镜电机的关键组件。它接收来自电脑控制器的信号,并将其转换为适合驱动电机的电信号。通过闭环反馈控制机制,伺服驱动板能够实时调整电机的运动状态,以实现所需的光束偏转效果。
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