高压发生器的输出功率一般为3kW或4kW，将高压加至X射线光管后，除小部分用于产生X射线外，大部分转化为热能，由内部水循环冷却系统带走。内循环水用于冷却阳极靶附近的光管头部分，因此要求内循环水为电导率很低的去离子水，以防高压击穿。内循环水通过仪器内部的去离子树脂柱降低电导率，去离子树脂柱中的树脂会年久失效，因此高压无法启动时，可检查一下内循环水的电导率，如果电导率降不下去，考虑更换树脂。另外，内循环水的水位过低，也会导致高压开不起来。
有一种故障现象是高压开起来几分钟后跳掉，产生这种故障的原因可能为内循环水的流量过小。内循环水的流量通过流量计测量，水流过流量计时，带动流量计内的叶轮，叶轮切割磁力线，产生电信号。叶轮在水中长期转动，可能会锈蚀，从而使叶轮的转速减慢，流量计的电信号减弱，使仪器误认为水流量过小而导致高压跳掉。另外内循环水的过滤网堵塞导致水流量减小，也会引起高压跳掉。
高压发生器和X射线光管是仪器内贵重的部件，一般不会出问题。检查高压发生器，可将高压发生器打开，根据电路图，检查各个开关是否在正常位置，看一下保险丝有没有熔断，再进一步的检查好由维修工程师来做。X射线光管是个封闭的部件，一旦损坏，只能更换，不能修理。检查X射线光管，可检查X射线光管与高压电缆的连接是否正常，高压电缆有无损坏。
X射线荧光光谱分析通常在真空光路条件下工作，但光谱室和样品室有很多部位与外部相连，可能漏气的部位很多。检查真空故障时，将可能出问题的地方人为分隔为三部分：真空泵、样品室、光谱室，对这三部分逐一检查以缩小范围。样品室常见的漏气部位是样品自转装置上的密封圈，样品测量时通常以0.5转/秒的速度自转，仪器几年运行下来，样品自转处的密封圈磨损，密封效果变差。
RoHS检测仪的基础保养
1、专人负责仪器的操作和维护。
2、在没有电磁干扰的环境下测试，如仪器附近不能有大功率的电机、电焊机等。
3、建议使用UPS（电源稳压器），保持电压稳定，以免对仪器部件造成损坏。
4、保持仪器的清洁和干燥。
5、请不要把仪器放在太脏或者太热太冷的环境里。
6、请不要自行修理仪器。
7、测试后，请关闭盖子，避免仪器受污染。
8、室内温度应保持在 -11℃～46℃。
9、室内湿度应保持在 0～60%之间。
RoHS检测仪的注意事项
样品处理：样品准备过程中需注意清洁，避免灰尘、油污等干扰检测结果。
操作规范：操作人员应经过培训，确保正确使用设备，避免因不当操作导致设备损坏或数据失真。
数据保存：检测结果应进行妥善保存，以便在产品出现问题时进行追溯和排查。
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