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美国国外以美国KAYEX为代表,生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX是目前世界上,进的硅单晶体生长炉制造商之一。KAYEX的产品早在80年代初进入市场,已成为半导体行业使用多的品牌。该生长的硅晶体生长炉从抽真空-检漏-熔料-引晶-放肩-等径-收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好,直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分别为30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。
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