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洁净厂房微振控制
1.有微振控制要求的洁净厂 房,设计应考虑建筑结构的选型及地面(楼面)的构造做法,如增加基础及上部结构垂直及横向刚度,增加地面(楼面)刚度,能有效减小振动影响。此外,还应考虑隔振缝设置及其有效的构造措施,壁板与地面及顶棚采用柔性连接等,均能减小振动传递。即减小了对精密设备、仪器仪表的振动影响。
在洁净厂房设计中,应先考虑对强振源采取隔振措施,以减小强振源对精密设备、仪器仪表的振动影响,在此基础上,精密设备、仪器仪表再根据各自的容许振动值采取被动隔振措施,大致能够达到预定目的。
在原规范中,本条为强制性条文,虽然明确规定本条只用于有微振控制要求的洁净厂房,但由于没有量化的规定,容易引起执行不准确的问题,实施以来确有此种情况发生,为此本次修订将本条改为推荐性条文。
2.精密设备、仪器仪表的被动隔振措施,由隔振台座及隔振器(或隔振装置)组成。根据隔振设计计算需要,设定隔振台座为不变形刚体,为此应对隔振台座的形状、几何尺寸及材质选用等方面加以考虑,使之具有足够的刚度。
某些精密设备、仪器仪表在运行时,由于移动部件位置变化或加工、测试件的质量及质心位置变化,使各隔振器的变形量不相等,隔振台座发生倾斜,导致精密设备、仪器仪表难以正常工作。为此,应设置校正倾斜装置,使隔振台座保持原有的水平度,以精密设备、仪器仪表的正常运行。
隔振系统阻尼过小,会产生较大的自振,以及受外界突发干扰(如对隔振台座的冲击、室内气流的扰动影响等),造成隔振台座晃动,这种振动值有时会大于精密设备、仪器仪表的容许振动值,影响其正常运行。为此应隔振系统阻尼值,才能减小此类振动。通过多项工程实践表明,隔振系统阻尼比不小于0.15是比较恰当的。
3.空气弹簧的垂直向、横向刚度很低,使隔振系统具有很低的固有振动频率,同时它具有可调节阻尼值的特性,隔振系统可获得需要的阻尼,因此,隔振系统具有良好的隔振效果。当配用控制阀时,可自动校正隔振台座的倾斜。由于空气弹簧具有其他隔振材料及隔振器的性,已被我国及国际工程界普遍采用作为精密设备、仪器仪表的隔振元件。
用于被动隔振措施的空气弹簧隔振装置由空气弹簧隔振器、控制阀、仪表箱及气源组成。由于空气弹簧隔振装置在校正隔振台座倾斜时会排体(如压缩空气、氮气等),因此对气源应进行净化处理,使其达到洁净室的空气洁净度等级,才能排出的气体不致对洁净室造成污染。
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施工过程中各区域内的管道试压已按系统分段进行,为了安全起见,宜先将整个管路系统的主干及各支路阀门全部关严,在系统充水前,先按空调水系统冲洗示意图,将主干管道的末端管路连通,而且将点与点均设置泄水阀与排气阀,以便杂质聚集于集分水器底部;在充水时应缓慢开启各路系统的阀门,目的是防止杂质随水流进入支路或末端设备的盘管,测试点设在管网的点与点各一处,以便系统试压时的准确核对;对管网注水时,应先将管网内的空气排净,并缓缓升压,达到实验压力后,稳压30min,目测管网,应无泄漏和无变形,且压力下降不应大于0.05MPa。
所有压力管道再隐蔽或验收前都要进行压力试验,根据管道使用的工作性质,可选用水或空气作为试验介质,如果有条件以水作为试验介质,这样便于检漏,操作时也较安全;但实际情况比较复杂,有时不适合用水做试验介质,这样就需要用空气作为压力试验介质。气压试验与水压试验相比,试验中不需要水,故不需设水源或安装引水管道及设置排水设施;受气候影响较小,如冬季风机盘管系统做水压试验,试验后风机盘管内的水不会排净,这样会冻裂盘管,采用气压试验,可避免此类现象发生。
空压机使用时应采取安全措施,输气管应避免急弯,打开压缩空气阀前,事先通知工作地点的有关人员;空压机出口处至被试压的管道系统不准有人工作,压力表、安全阀和调节器等应定期校验,保持灵敏有效;管道试压,应使用经检验合格的压力表,操作时要分级缓慢升压,稳压后方可进行检查,非操作人员不得在盲板、法兰、焊口、丝口处停留;修理工作在泄压后进行。
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净化车间的地坪要求为:
A.不得有细孔;
B.地坪表面光滑平整,应采用连续地面或对地面各部分进行焊接;
C.表面极少发散粒子,包括在地面受到人员走动,运输车辆行驶的情况也是如此;
D.净化车间地面要耐磨损;
E.防滑的表面;
F.耐化学作用
G.挥发有机物的发散非常少;
H.净化车间地坪须便于清洗和消毒,包括清除油漆斑点等;
I.在规定的使用期限内能承受动、静荷载;
J.良好的可修复性;
K.在四角与墙相接处均能做成圆弧形;
L.净化车间地坪美观。
静态无尘室的检测
静态是指无尘室建成并投入使用的状态,工艺设备已安装并调试(按定货方和执行方之间的约定运作),尚无人员。检测至少应完成如下几项:
A.确认无尘室区划分原则是符合要求的;
B.确定无尘室在经过污染水平升高后的自净时间参数;
C.确定保持温度和湿度的稳定性;
D.按粒子数确定洁净度的级别;
E.确定压差;
F.在必要的场所应按粒子和微生物污染水平确定表面的洁净度;
G.确定无尘室的照明度;
H.确定噪声级;
I.利用必要的工具目视检查气流并检查换气次数;
J.将取得的数据结果写成书面文件。
动态无尘室的检测
动态是指无尘室按照给定要求发挥功能,已经规定数量的人员按工艺文件规定进行工作。评估动态无尘室的稳定性需要检测如下几项:
A.验证无尘室分隔制度;
B.评估将温度和相对湿度保持在规定范围内的能力;
C.按粒子数检查洁净度级别并确定空气中的微生物浓度;
D.验证无尘室的压差;
E.按粒子数和微生物数量确定表面的洁净度;
F.检查无尘室运行文件的成套性,其中包括参数的检查方法、工作事故及采取的措施等,是否有基本的规程,如无尘室清扫、更衣、人员卫生等方面的规定;
G.检查人员是否经过培训,是否有培训体系和相应的文件。
必要时还要检查振动强弱、空气电离程度、电场磁场强度。在使用过程中,应对无尘室的参数进行日常,要有一定的周期性,无尘室用户可根据规范文件的要求确定这种周期性。
发生下列各项后需进行重复检测:
无尘室达不到给定参数的原因已消除;与使用条件有较大的差异;空气长时间停止流通而影响无尘室的工作;做了影响无尘室工作的个别维护或修理工作,如更换过滤器之后。