X荧光光谱仪（X-ray Fluorescence Spectrometer，简称XRF）是一种用于元素分析的科研仪器，通过利用X射线的荧光效应来探测样品中的元素。该仪器广泛应用于许多领域，如材料科学、环境监测、考古学、地质学以及工业生产等
X荧光光谱仪的工作原理基于X射线照射样品时所产生的荧光现象。当一束X射线照射到样品表面时，样品中的原子会吸收X射线能量，这使得一些内层电子被激发并从原子中释放。为了恢复稳定状态，这些原子会从外层电子中捕获电子，释放出特定波长的荧光X射线。这些荧光X射线的波长和强度与样品中元素的种类和数量密切相关，因此可以通过分析荧光X射线来确定样品的成分及其含量。
XRF的筛选X射线荧光光谱仪是公认的RoHS筛选检测仪器，由于其检测速度快、分辨率高、实施无损检测，所以被广泛采用。荧光光谱仪繁多，以至于分不出谁好谁差了。在《电子信息产品有毒有害物质的检测方法》IEC62321标准文本里提到：“用能量散射X射线荧光光谱法（ED－XRF）或波长散射X射线荧光光谱法（WD－XRF）对试样中目标物进行测试，可以是直接测量样品（不破坏样品），也可以是破坏样品使其达到”均匀材料”（机械破坏试样）后测试。”能真正准确无误地将试样筛选出合格、不合格、不确定三种类型，而且能限度地缩小“不确定”部分是好仪器。在既定准确度的情况下尽可能快速检测。尤其是企业选购，光谱仪是做日常RoHS监督检测用，非常看重这一点。所以，能够准确无误地将试样筛选出合格、不合格、不确定三种类型，又能限度地缩小“不确定”部分，而且全部过程是在短的时间内完成的X射线荧光光谱仪是满足使用要求的光谱仪
