二手1300MM 1550MM光驰镀膜机 光学真空电镀机 射频源蒸发机介绍
OTFC-1550光学镀膜机配置:
真空室：SUS304,Ф1550*1800MM |
工件架：Ф1400 |
工件架转速：10rpm to 30rpm (可变) |
光学膜厚控制：HOM2 |
光学膜厚监控仪：波长范围: 350nm to 1100nm |反射式 |
蒸发源：双枪，伞一个，上架伞车一台 |
离子源：17寸射频源 |
排气系统：光驰镀膜机泵组一套 |
电源：3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA |
水流量：180升/分以上 |
空气压力：0.5MPa以上 |
重量：约11000kg |
二手1300MM 1550MM光驰镀膜机 光学真空电镀机 射频源蒸发机镀膜机的维护
设备的正常运转我们需要更换油。将泵启动，拧开放油螺栓，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，观察油视镜倒入新油加到一定额度，平常换油时应将油盖打开，有需要时用布擦干净箱内污垢。
扩散泵连续使用6个月以上，抽的速度会显然变慢，当操作不当应拆去联结水管，卸下电炉盘，将喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到标准，否则要进行检漏。检查联接处的密封圈是否正常。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。
二手1300MM 1550MM光驰镀膜机 光学真空电镀机 射频源蒸发机照片
